漏流是施加電壓時(shí)通過(泄露)電阻的誤差電流。當(dāng)DUT的阻抗與測試電路中絕緣體的阻抗相當(dāng)時(shí)，該誤差電流就會(huì)成為問題。為減小漏流，在測試電流中采用高質(zhì)量的絕緣體、降低測試實(shí)驗(yàn)室的濕度，并采用保護(hù)。
保護(hù)是由一個(gè)低阻源驅(qū)動(dòng)的導(dǎo)體，其輸出為或接近高阻端子的電勢。保護(hù)端子用于保護(hù)測試夾具和電纜絕緣電阻和電容。保護(hù)是三軸連接器/電纜的芯屏蔽，如圖10所示。


圖10. 4200三軸連接器/電纜的導(dǎo)體
請勿混淆保護(hù)和屏蔽。屏蔽通常意味著采用金屬護(hù)欄防止靜電干擾影響高阻電路。保護(hù)則意味著使用增加的低阻導(dǎo)體，將其維持在于高阻電路相同的電勢，它將攔截任何干擾電壓或電流。保護(hù)不一定提供屏蔽。下圖
為保護(hù)的兩個(gè)例子：1)利用保護(hù)降低測試夾具導(dǎo)致的漏流，而2)則利用保護(hù)降低由于電纜連接產(chǎn)生的漏流。
圖11所示為保護(hù)消除可能會(huì)通過測試夾具內(nèi)隔離絕緣體的原理。在圖11a中，漏流(IL)通過隔離絕緣體(RL)。該漏流增加至來自于DUT (IDUT)，然后被SMU安培計(jì)測得(IM)，對小電流測量的準(zhǔn)確度造成不利影響。


圖11.利用保護(hù)減小測試夾具中的漏流
在圖11b中，金屬安裝板被連接至SMU的保護(hù)端子。隔離絕緣體頂部和底部的電壓接近相同電勢(0V壓降)，所以在隔離絕緣體中就不會(huì)有漏流影響測量準(zhǔn)確度。由于金屬安裝板將處于保護(hù)電勢，所以為安全起見，金屬屏蔽必須連接至地。