很多通信系統(tǒng)發(fā)展到某種程度都會有小型化的趨勢。一方面小型化可以讓系統(tǒng)更加輕便和有效，另一方面，日益發(fā)展的IC**技術可以用更低的成本生產出大批量的小型產品。

MEMS(MicroElectromechanical System)是這種小型產品的相關技術之一。MEMS可以檢測環(huán)境的變化并通過微型電路產生相關反應。MEMS的主要部分包括sensor(微傳感器)或actuator(微執(zhí)行器)和transducer(轉換裝置)，其中sensor可以檢測某種物理，化學或生物的存在或強度，比如溫度，壓力，聲音或化學成分，transducer會把一種energy轉換成另外一種(比如從電信號到機械波)。

目前MEMS被廣泛的利用在多個領域里，如下圖。

這篇文章主要說說MEMS的幾種RF相關應用產品,, FBAR filter，也是目前手機中最常用的幾種filter。

,和FBAR中，A都代表著Acoustic。Acoustic w**e中文翻譯成聲波，聲波按頻率分成3段，audio, infrasonic(次聲波)和ultrasonic(超聲波)。

Audio的頻率為20Hz ~ 20KHz, 是人耳能聽見的范圍。

Infrasonic(次聲波)是低頻率，20Hz一下，人耳聽不到，可以用來研究地理現(xiàn)象(比如地震)。

Ultrasonic(超聲波)是20KHz到109KHz，也是人耳聽不到的范圍。

下面提到的聲波都是超聲波的范圍，首先我們看看 filter。

Surface Acoustic W**e(SAW) filter

顧名思義，SAW是一種沿著固體表面(surface)傳播的聲波(acoustic w**e)。

一個基本的SAW filter由壓電材料(piezoelectric substrate)和2個Interdigital Transducers(IDT)組成，如下圖。

IDT是由交叉排列的金屬電極組成，上圖中左邊的IDT把電信號(electrical signal)轉成聲波(acoustic w**e)，右邊的IDT把接收到的聲波再轉成電信號。

電信號和聲波(屬于mechanical w**e)之間轉換也稱為electromechanical coupling。

那IDT是怎么把電信號轉成聲波呢?原因在于IDT下方的壓電材料。

壓電(piezoelectricity or piezoelectric effect)

Piezoelectricity這詞來源于希臘語piezein，表示施加壓力，1880年由兩位法國物理學家(Pierre，Paul-Jacques Curie)發(fā)現(xiàn)。壓電是指某些晶體(Crystal)受到外部壓力時會產生電壓，相反地，如果某些晶體兩面存在電壓，晶體形狀會輕微變形。

為什么會發(fā)生這種現(xiàn)象?

首先說晶體，科學意義上的晶體指其原子或分子在三維空間內以非常有規(guī)律地排列，而且隔一段距離重復著unit cell(基本組成單元)的固體，比如食鹽和糖也是晶體。大部分晶體的unit cell原子排列是對稱的(with a center of symmetry)，不管有沒有外部壓力，基本單元里的net electric dipole始終是零，而壓電晶體的原子排列是不對稱的(lacks a center of symmetry)。

壓電晶體原子排列雖然不對稱，但正電荷(positive charge)會和附近負電荷(negative charge)相互抵消(更確切是electric dipole moments相互抵消)，所以整體的晶體不帶電。當晶體受到壓力時外形會變化，一些原子間距離會變得更近或者更遠，打亂了原來保持的平衡，出現(xiàn)凈電荷(net electrical charge)，晶體表面出現(xiàn)positive charge和negative charge。這種現(xiàn)象稱為壓電(piezoelectric effect)。

相反地，晶體兩端加電壓時原子受到“electrical pressure”，為了保持電荷的平衡，原子來回震動使壓電晶體形狀輕微變形。這種現(xiàn)象稱為reverse-piezoelectric effect。

石英(quartz)是很常見的壓電材料，我們平時生活中使用的石英表也利用了石英的壓電特性。紐扣電池給手表里面的電路供電，電路會讓石英晶體精確的震蕩(震動)32768次/秒，再把震蕩轉成一次/秒的脈沖，脈沖再驅動小型電機進而轉動齒輪(指針)。

SAW filter常用的壓電材料有LiTaO3，LiNbO3，SiO2等。其基本結構中左邊IDT交叉排列的電極之間交流電壓產生壓電材料的mechanical stress并以SAW的形式沿著表面?zhèn)鞑?，而在垂直方向上SAW幅度快速衰落。右邊的IDT也是同樣結構，只是接收SAW，輸出電信號。中間部分的shielding會影響輸入和輸出之間的耦合(coupling)，關系到通帶內的幅度ripple和群時延(group delay)。

SAW filter也可以用ladder type(串并組合)，如下圖。

SAW的頻率可以大致參考以下公式:F = V/λ

V是SAW的速率(velocity)，大概3100m/s, λ是IDT電極之間間距。

從公式可以看出，頻率越高IDT電極之間間距越小，所以SAW filter不太適合大約2.5GHz以上的頻率。另外很小的間距(高頻率)下電流密度太大(高功率)會導致電遷移(electromigration)和發(fā)熱等問題，當然，通過一些方法(IDT材料的改進等)也可以彌補這些。

SAW filter對溫度變化也敏感，性能隨著溫度升高變差。TC(temperature compensated)-SAW filter就是為了改善溫度性能，IDT上增加了保護涂層。普通的SAW filter頻率溫度系數(shù)(TCF, temperature coefficient of frequency)大約-45ppm/oC左右，而TC-SAW大約-15到-25ppm/oC。增加的涂層使工藝變得復雜，成本也增加，不過相對 filter還是便宜一些。