“獲得未來科學大獎是非常榮幸的事情，這是大家對我所做工作的肯定。我本來以為，大陸同行不清楚我做的貢獻，現(xiàn)在看來大家都知道我做的貢獻”。他欣然答應今年11月18日來北京參加頒獎典禮。

近日朋友圈被未來科學大獎刷爆，尤其是林本堅(Burn J.LIN)先生因為摩爾定律續(xù)命而獲得數(shù)學與計算機科學獎，更令國內半導體圈情緒高漲。下面就讓我們一起來走近林先生，看看他是如何獲得此殊榮的。

“X光只是給牙醫(yī)用的”

林本堅的父母早先時候居住在香港，在抗戰(zhàn)時期逃到相對安全的越南，林本堅便出生在那里。在越南，他一方面接受中國式的教育，另一方面因其父親曾是一所英文學校的校長，為他學習英文打下了扎實基礎。

在高中的最后一年，17歲他到臺灣新竹高級中學讀書，后來考入臺灣國立大學的電機系并獲得電機學士。此后，林本堅赴美讀書，于1970年獲得美國俄亥俄州立大學電機工程博士。畢業(yè)后，他本來想進入一家光學公司，但沒想到“誤打誤撞”進了IBM。不過，他沒想到的是，在光學方面的訓練倒是在半導體成像方面幫了他很大的忙。這樣，從光學設計轉到半導體技術，他在IBM不斷提高成像技術，一干就是22年。

不過，當時的IBM，他的技術路線并不被看好，而處在研發(fā)階段，誰都不知道哪一條路會成功。當時為了“抗議”公司主流的技術路線，林本堅寫了一個大的布告，貼到辦公室的墻上，說“X光只是給牙醫(yī)用的”。他的執(zhí)拗可見一斑。

當時的IBM有很多人是做物理出身，他們認為，把深紫外線縮到250多納米，用X光可以做到甚至更低一點。當時的IBM花很多力氣去研究X光方面，而林本堅堅持認為，到250納米之后，光學微影是很有前途的。

獨創(chuàng)“浸潤式微影”為摩爾定律續(xù)命

離開IBM，林本堅選擇了創(chuàng)業(yè)，成立了Linnovation，發(fā)展與光刻相關的軟件以及其他技術。但8年之后，他的最大的一個競爭對手被一家大公司收購，他陷于無力與之競爭的絕望之中。恰在這時，臺積電來電話邀請他加盟，經(jīng)過一番了解后，林本堅欣然應允。

2000年，林本堅回到臺灣，加入了臺積電。那時，全世界都在走157納米波長的微影蝕刻的技術，不過，林本堅認為這個技術遇到了難以突破的瓶頸，需要另覓他途。2002年，林本堅受邀參加一場國際光電學會技術研討會，會中他發(fā)表這項發(fā)現(xiàn)，語驚四座，因為當時的半導體設備商多研發(fā)焦點放在如何延續(xù)干式機臺的生命，并已耗費數(shù)十億美元進行開發(fā)。林本堅的理論無疑是在業(yè)界投出一顆炸彈，但經(jīng)過他無數(shù)研討會努力奔走、尋找與設備商合作，最后，臺積電在2004年與ASML共同完成開發(fā)全球第一臺潤式微影機臺，讓業(yè)界在震驚之余也刮目相看。他開創(chuàng)性地發(fā)明浸潤式微影這項顛覆性技術，扭轉了技術潮流，成功引領了全世界的半導體研發(fā)。

靈感從“一滴水”到“天空”

如今，浸潤式顯影不但是英特爾(Intel)等半導體龍頭、設備商所認定的跨入45奈米制程之后的解決方案，也已正式納入國際半導體藍圖架構成為主流?；仡欉^去林本堅提出的“一滴水”理論，過了5年，臺積電終于將在2007年下半正式用來量產。

臺積電采用193波長曝光設備，量產45奈米制程，這套設備之所以引人矚目，在于不同以往的“干式”制程，而是“濕式”機臺。過去干式曝光顯影是在無塵室中，以空氣為媒介進行，透過光罩在晶圓上顯影;而浸潤式微影則是以水為透鏡，在晶圓與光源間注入純水，波長光束透過“水”為中介，會縮短成更短波長，得以刻出更精密晶片。就是這項發(fā)明，讓半導體的摩爾定律得以朝45奈米制程之后沿續(xù)。

林本堅的“微物”論改變的半導體技術的進展，也改變由晶片所驅動的世界，45nm之后，他又繼續(xù)投入22奈米制程之后設備研究，不同的是，這次靈感來自“天空”。

林本堅說，22奈米制程之后多重直接式電子束(E-Beam Direct Write)將是最佳解決方案，他說航太工程的演進給了他許多靈感，他巧妙地比喻，現(xiàn)在許多設備商投入的EUV設備就像是太空梭一樣成本太昂貴，又不適合載客，E-Beam就是向不需要飛行跑道的直升機，可以直接空降在晶圓上，靈巧又符合成本效益。看來“一沙一世界、一奈米一宇宙”這句話用在他身上再洽當也不過了。

現(xiàn)在，臺積電已經(jīng)宣布先3nm進軍了。我們感嘆科技發(fā)展的速度，同時也深知，沒有林先生也不會有現(xiàn)在的3nm。

在國立清華大學官網(wǎng)發(fā)布的聲明中：林說他最初的退休計劃只包括兩項活動:宣傳福音和幫助人們享受更繁榮的生活。然而，后來他意識到教學也是幫助人們享受繁榮的好方法。正如林所說，“在我從事半導體行業(yè)的46年中，我學到了很多，現(xiàn)在我想和下一代分享這些。除了傳授專業(yè)知識，我希望能激發(fā)學生的創(chuàng)造力，以及解決問題和團隊合作的能力。"

"No matter what the problem is, you have to be prepared to adopt different approaches to solving it.”

——Burn Lin