“今后，隨著MOCVD(有機(jī)金屬化學(xué)氣相沉積)設(shè)備議價空間的增大，將有力推動‘中國芯’的產(chǎn)能擴(kuò)張，提升市場競爭力。”近日，走進(jìn)我國唯一掌握LED外延芯片自主知識產(chǎn)權(quán)的晶能光電，副總經(jīng)理王志對這顆“中國芯”底氣十足。而讓他這么信心滿滿的，是以核心自主知識產(chǎn)權(quán)在世界MOCVD裝備制造領(lǐng)域異軍突起的中微半導(dǎo)體最近決定把該設(shè)備制造基地放在南昌高新區(qū)。從此，南昌LED全自主產(chǎn)業(yè)鏈最后一環(huán)被徹底打通。

2004年，硅襯底LED技術(shù)在日美藍(lán)寶石和碳化硅襯底技術(shù)的重重專利夾縫中迸發(fā)而出，以自主知識產(chǎn)權(quán)，奠定了全球LED技術(shù)的三足鼎立之勢。然而，2008年，就在晶能光電準(zhǔn)備采購MOCVD設(shè)備，實(shí)現(xiàn)硅襯底芯片大規(guī)模量產(chǎn)時，一個冷酷現(xiàn)實(shí)擺在他們面前——LED產(chǎn)業(yè)鏈技術(shù)密集度最高的MOCVD機(jī)，國內(nèi)無生產(chǎn)能力;全球市場被美國威科和德國愛思強(qiáng)所壟斷，價格高達(dá)2000多萬元一臺，美國威科當(dāng)時更對中國實(shí)施技術(shù)封鎖。準(zhǔn)備大展拳腳的“中國芯”，強(qiáng)烈地感受到了無“機(jī)”之痛。

此后，南昌圍繞“中國芯”，通過打造南昌光谷，聚集了一大批企業(yè)、技術(shù)和人才，逐步建立起襯底材料、外延、芯片、封裝、終端應(yīng)用等完整產(chǎn)業(yè)鏈。南昌高新區(qū)成為全國唯一具有LED全產(chǎn)業(yè)鏈自主知識產(chǎn)權(quán)的工業(yè)園。但他們始終難忘產(chǎn)業(yè)鏈上這薄弱的一環(huán)，經(jīng)過10年布局，投入巨資打造黃綠照明，開始了對MOCVD設(shè)備國產(chǎn)化的追尋，并追蹤國內(nèi)企業(yè)在MOCVD設(shè)備研發(fā)上的進(jìn)展。2014年，當(dāng)中微公司自主研發(fā)的MOCVD設(shè)備表現(xiàn)出世界水準(zhǔn)，南昌高新區(qū)伸出了橄欖枝。經(jīng)過多次接觸，這里雄厚的產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)、完善的設(shè)施配套、強(qiáng)烈的發(fā)展熱情，深深地打動了中微。由此，中微不僅將其MOCVD設(shè)備生產(chǎn)基地設(shè)在南昌，而且將把南昌打造成為世界級MOCVD研發(fā)、制造及創(chuàng)新中心。此外，還將與南昌大學(xué)國家硅基LED工程技術(shù)研究中心合作，加快推進(jìn)“中國芯”的產(chǎn)業(yè)化。