合肥平板顯示產(chǎn)業(yè)基地的產(chǎn)業(yè)鏈條再次充實(shí),日前,一期投資10億元的TFT(薄膜場(chǎng)效應(yīng)晶體管)產(chǎn)業(yè)設(shè)備制造基地項(xiàng)目在合肥簽約,標(biāo)志著國(guó)內(nèi)最大的大型真空光電子成套生產(chǎn)設(shè)備制造商正式入駐新站區(qū)。
據(jù)了解,此次投資合肥的豪威公司是專業(yè)從事光電薄膜裝置及光電薄膜材料生產(chǎn)的技術(shù)開發(fā)型高科技企業(yè),在大型真空光電子成套設(shè)備、光電薄膜信息材料生產(chǎn)和光電薄膜工藝研究方面具有領(lǐng)先優(yōu)勢(shì)。TFT產(chǎn)業(yè)設(shè)備制造基地作為中國(guó)(合肥)平板顯示產(chǎn)業(yè)基地最大的上游裝備配套項(xiàng)目,計(jì)劃一期投資10億元人民幣,主要建立TFT設(shè)備核心加工和制造,引進(jìn)TFT重點(diǎn)設(shè)備廠商,不斷推進(jìn)產(chǎn)學(xué)研相結(jié)合,致力為合肥乃至全國(guó)TFT面板項(xiàng)目提供配套,打造具有國(guó)際一流技術(shù)水平的高科技平板顯示設(shè)備生產(chǎn)、研發(fā)基地。
目前,按照“項(xiàng)目—產(chǎn)業(yè)鏈—產(chǎn)業(yè)集群—產(chǎn)業(yè)基地”的發(fā)展思路,中國(guó)(合肥)平板顯示產(chǎn)業(yè)基地已有京東方六代線、鑫昊PDP、彩虹高世代液晶玻璃基板、樂凱集團(tuán)光電薄膜及偏光片等核心項(xiàng)目入駐。TFT產(chǎn)業(yè)設(shè)備制造基地項(xiàng)目建成后,將填補(bǔ)國(guó)內(nèi)TFT產(chǎn)業(yè)設(shè)備在技術(shù)和生產(chǎn)方面的空白,打破國(guó)外TFT產(chǎn)業(yè)設(shè)備生產(chǎn)技術(shù)的壟斷。隨著平板顯示產(chǎn)業(yè)基地核心項(xiàng)目建設(shè)不斷加快,上游原材料,下游模組、整機(jī)等配套企業(yè)也正在陸續(xù)入駐,平板顯示產(chǎn)業(yè)鏈逐步形成,配套能力不斷提升。
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關(guān)鍵字: CHINA PS 數(shù)據(jù)庫(kù) 薄膜化學(xué)氣相淀積指把含有構(gòu)成薄膜元素的氣態(tài)反應(yīng)劑或液態(tài)反應(yīng)劑的蒸氣及反應(yīng)所需其它氣體引入反應(yīng)室,在襯底表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)生成薄膜的過(guò)程。在超大規(guī)模集成電路中很多薄膜都是采用CVD方法制備。
關(guān)鍵字: 薄膜 溫度 等離子體 超大規(guī)模集成電路化學(xué)氣相沉積是一種化工技術(shù),該技術(shù)主要是利用含有薄膜元素的一種或幾種氣相化合物或單質(zhì)、在襯底表面上進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)生成薄膜的方法。化學(xué)氣相淀積是近幾十年發(fā)展起來(lái)的制備無(wú)機(jī)材料的新技術(shù)。
關(guān)鍵字: 化學(xué)氣相沉積 薄膜 單晶