恒壓法[1]測量高電阻，需要使用一臺能夠測量弱電流的儀器和一臺直流恒壓源。有些靜電計和皮安計[2]具有內(nèi)置的電壓源，能夠自動地計算出未知電阻。
使用靜電計和皮安計的恒壓法的基本電路配置如圖2-30a所示。而圖2-30b則示出了使用SMU[3]，采用恒壓法進行高電阻測量的情況。
在此方法中，恒壓源（V）與未知電阻（R）和安培計（IM）相串聯(lián)。由于安培計上的電壓降可以忽略，所以所有的測試電壓都出現(xiàn)在電阻R上。由安培計測量產(chǎn)生的電流，再使用歐姆定律計算出電阻（R = V/I）。
高電阻通常是所加電壓的函數(shù)，所以恒壓法比恒流法要優(yōu)越。在選定的電壓下進行測量，就可以得到電阻與電壓的曲線，并可以決定“電阻的電壓系數(shù)”。
采用這種方法的應(yīng)用工作包括測試兩端高阻器件、測量絕緣電阻、確定絕緣材料的體電阻率和表面電阻率等。
恒壓法需要測量弱電流，所以 第2.3節(jié)（弱電流測量[4]）介紹的各種技術(shù)和誤差來源都適用于這種方法。測量高電阻時兩個最常見的誤差來源是靜電干擾和泄漏電流。如第2.6.2節(jié)所介紹，將高阻抗電路屏蔽可以盡量降低靜電干擾的影響。采用第2.3.1節(jié)介紹的保護技術(shù)可以控制泄漏電流的影響。