貼片機(jī)的分辨率通常是指貼片機(jī)定位系統(tǒng)的分辨率，具體指機(jī)械位移的最小極限，它包括X－Y移動(dòng)的最小距離和Z軸旋轉(zhuǎn)最小角度，其數(shù)值取決于伺服機(jī)構(gòu)和軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)及其測(cè)量和控制系統(tǒng)的分辨率。實(shí)際上，貼片機(jī)各系統(tǒng)，例如，光學(xué)系統(tǒng)、各種控制和測(cè)量傳感器均有自己的分辨率。

貼片機(jī)的高分辨率是保證貼片機(jī)精度的基礎(chǔ)，如同一臺(tái)分辨率高的儀器是保證測(cè)量精度的基礎(chǔ)一樣。但是分辨率不與精度直接關(guān)聯(lián)，貼片機(jī)一部分機(jī)構(gòu)分辨率高或者所有機(jī)構(gòu)分辨率都高，并不能保證貼片機(jī)精度高；高分辨率只是高精度的必要條件，而不是充分條件，更不是必要充分條件，一般在貼片機(jī)精度指標(biāo)中不出現(xiàn)分辨率，只有在深入比較貼片機(jī)全面性能時(shí)才用到分辨率指標(biāo)。

目前高精度貼片機(jī)的Z軸移動(dòng)和轉(zhuǎn)動(dòng)已分別達(dá)到0.00 mm和0.0024度的分辨率，視覺(jué)系統(tǒng)的照相機(jī)分辨率每個(gè)像素達(dá)到0.038 mm。隨著精密制造技術(shù)的發(fā)展，這些指標(biāo)還會(huì)進(jìn)一步提高，從而保證貼片機(jī)向更高精度的發(fā)展。