納米圖案成形系統(tǒng)與解決方案的市場(chǎng)與技術(shù)領(lǐng)導(dǎo)者M(jìn)olecularImprintsInc.(MII)今天宣布已簽約將半導(dǎo)體壓印光刻設(shè)備業(yè)務(wù)出售給日本東京的佳能(CanonInc.)。佳能目前生產(chǎn)并銷(xiāo)售KrF準(zhǔn)分子和i線照明光學(xué)光刻平臺(tái)。為打入尖端高分辨率圖案成形光刻設(shè)備市場(chǎng)，佳能2004年開(kāi)始研究納米壓印技術(shù)。自2009年以來(lái)，該公司一直與MII及一家量產(chǎn)型半導(dǎo)體制造商攜手采用MII的JetandFlash?壓印光刻(J-FIL?)技術(shù)來(lái)進(jìn)行開(kāi)發(fā)。

MolecularImprints行政總裁MarkMelliar-Smith表示：「四年前我們與佳能共結(jié)商業(yè)聯(lián)盟以向半導(dǎo)體行業(yè)提供技術(shù)主導(dǎo)型的低成本納米光刻解決方案，我很高興如今我們?cè)谧非筮@一目標(biāo)上取得了巨大進(jìn)步。在此成功的基礎(chǔ)上，雙方合并是自然而然的?！?BR>
2011年，佳能進(jìn)入其「全球優(yōu)良企業(yè)計(jì)劃」(ExcellentGlobalCorporationPlan)的第四階段，該計(jì)劃的其中一項(xiàng)策略是通過(guò)全球多元化來(lái)實(shí)現(xiàn)業(yè)務(wù)發(fā)展。佳能技術(shù)總監(jiān)ToshiakiIkoma博士說(shuō)：「收購(gòu)MII將加強(qiáng)我們的『工業(yè)及其他』業(yè)務(wù)部門(mén)。由此帶來(lái)的創(chuàng)新半導(dǎo)體制造機(jī)會(huì)讓我們感到非常興奮，我們期待在得克薩斯州奧斯汀建設(shè)出先進(jìn)的技術(shù)開(kāi)發(fā)能力。」

得克薩斯大學(xué)奧斯汀分校的SVSreenivasan和GrantWillson兩位教授所研發(fā)的技術(shù)為MolecularImprints創(chuàng)立之初的開(kāi)疆辟土奠定了基礎(chǔ)。過(guò)去幾年中，MolecularImprints一直與佳能及其他半導(dǎo)體行業(yè)基礎(chǔ)設(shè)施合作夥伴攜手讓整個(gè)行業(yè)繼續(xù)依照摩爾定律的指導(dǎo)方向，沖破分辨率的限制，同時(shí)避免光學(xué)和極紫外線(EUV)光刻成本負(fù)擔(dān)的加重。最初用于生產(chǎn)的J-FIL技術(shù)計(jì)劃在未來(lái)兩年內(nèi)用于高級(jí)閃存。

佳能將把J-FIL運(yùn)用到先進(jìn)半導(dǎo)體制造中，與此同時(shí)，該合并協(xié)議還允許分拆出一家新公司，保留原來(lái)的「MolecularImprints」名稱(chēng)，而與佳能共同擁有的關(guān)鍵人才和權(quán)利也能保留在MII的知識(shí)產(chǎn)權(quán)組合中，再加上多個(gè)系統(tǒng)平臺(tái)能夠支持消費(fèi)電子和生物醫(yī)學(xué)應(yīng)用對(duì)納米級(jí)圖案成形不斷加大的需求，這些都形成了搶占領(lǐng)先地位的優(yōu)勢(shì)。MolecularImprints營(yíng)運(yùn)總監(jiān)DavidGino稱(chēng)：「我們期待為顯示器、硬盤(pán)驅(qū)動(dòng)器，生物技術(shù)和其他新興市場(chǎng)帶來(lái)低成本納米級(jí)制造解決方案?！乖谂c佳能的合并協(xié)議完成之前，新的MolecularImprints將被分拆出來(lái)，Gino先生則將擔(dān)任這家新公司的行政總裁。

此項(xiàng)合并預(yù)計(jì)于2014年4月完成，須獲股東及政府批準(zhǔn)。