TDK ICP-101 xx壓力傳感器系列基于MEMS電容技術(shù)，以最低功率提供超低噪音，獲得行業(yè)領(lǐng)先的相對精度、傳感器吞吐量和溫度穩(wěn)定性。

電容技術(shù)

電容壓力傳感技術(shù)克服了以往壓阻技術(shù)的諸多挑戰(zhàn)，提高了整體性能。下面是這兩種結(jié)構(gòu)的比較 ：

圖1 電容技術(shù)

電容壓力傳感器的優(yōu)勢

電容壓力傳感器性能

噪音和功率

電容壓力傳感器的結(jié)構(gòu)優(yōu)勢實(shí)現(xiàn)了無與倫比的超低噪聲和功率水平，超過壓阻傳感器所能達(dá)到的水平。以下是TDK的ICP-101 xx電容壓力傳感器系列與普通工業(yè)壓阻傳感器的噪音和功率圖（輸出數(shù)據(jù)速率為1Hz時(shí)） ：

圖2　噪音和功率

ICP-101 xx壓力傳感器系列的本底噪聲小于0.4Pa-RMS，實(shí)現(xiàn)了小于±1Pa的壓力測量差，這個(gè)精度使高度測量差小到5cm，小于一級臺階的高度。

圖3　最低壓力噪音和相對精度

視頻1 壓阻與電容壓力傳器

溫度穩(wěn)定性

因?yàn)閴鹤鑼囟茸兓浅Ｃ舾?，電容壓力傳感器天生就比基于壓阻的傳感器具有更高的溫度穩(wěn)定性。ICP-101xx壓力傳感器系列實(shí)現(xiàn)了行業(yè)領(lǐng)先的溫度系數(shù)偏差±0.5Pa/°C，使設(shè)備在一個(gè)很寬的溫度范圍內(nèi)非常穩(wěn)定。

電容壓力傳感器使新用例成為可能

TDK的電容壓力傳感器具有超低噪音、超低功率和溫度穩(wěn)定性，達(dá)到了新的性能水平，使現(xiàn)有的壓阻技術(shù)不可能實(shí)現(xiàn)的用例成為可能。

表1　電容技術(shù)