近日消息，長(zhǎng)江存儲(chǔ)從荷蘭阿斯麥(ASML)公司訂購(gòu)的一臺(tái)光刻機(jī)（非EUV光刻機(jī)）已抵達(dá)武漢。這臺(tái)光刻機(jī)價(jià)值高達(dá)7200萬(wàn)美元，約合人民幣4.6億元。

此外，中芯國(guó)際中芯國(guó)際也向阿斯麥下單了一臺(tái)價(jià)值高達(dá)1.2億美元的EUV(極紫外線(xiàn))光刻機(jī)，1.2億美元!中芯國(guó)際下單ASML EUV光刻機(jī)。這臺(tái)機(jī)器預(yù)計(jì)將于2019年初交貨。

荷蘭當(dāng)?shù)孛襟w《埃因霍溫經(jīng)濟(jì)報(bào)》也證實(shí)了上述消息。

從飛利浦獨(dú)立出來(lái)的阿斯麥公司在高端光刻機(jī)領(lǐng)域占據(jù)了全球90%的市場(chǎng)份額。光刻機(jī)(又稱(chēng)曝光機(jī))是生產(chǎn)大規(guī)模集成電路的核心設(shè)備，對(duì)芯片工藝有著決定性的影響。

如今，中國(guó)兩家企業(yè)先后訂購(gòu)了兩臺(tái)高端光刻機(jī)，總價(jià)值約12.3億元人民幣。阿斯麥ASML公司從行動(dòng)上否認(rèn)有媒體關(guān)于“高端光刻機(jī)對(duì)中國(guó)大陸禁運(yùn)”的傳聞，強(qiáng)調(diào)對(duì)中國(guó)大陸客戶(hù)一視同仁。

此外，阿斯麥公司接受中芯國(guó)際訂單的時(shí)間點(diǎn)是在今年4月中興通訊遭遇美國(guó)制裁之后。

長(zhǎng)江存儲(chǔ)迎來(lái)第一臺(tái)光刻機(jī)

2016年，紫光集團(tuán)與國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金、湖北科投等合資成立了長(zhǎng)江存儲(chǔ)，注冊(cè)資本額為人民幣386億元。長(zhǎng)江存儲(chǔ)公司是中國(guó)高端芯片聯(lián)盟發(fā)起單位之一，被寄望推動(dòng)中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)自主研發(fā)。

據(jù)報(bào)道，長(zhǎng)江存儲(chǔ)訂購(gòu)的這臺(tái)光刻機(jī)采用193nm沉浸式設(shè)計(jì)，可生產(chǎn)20-14nm工藝的3D NAND閃存晶圓，售價(jià)達(dá)7200萬(wàn)美元，約合人民幣4.6億元。

目前，該機(jī)已經(jīng)運(yùn)抵武漢天河機(jī)場(chǎng)，相關(guān)入境手續(xù)辦理完畢后，即可運(yùn)至長(zhǎng)江存儲(chǔ)的工廠(chǎng)。

根據(jù)官網(wǎng)資料，2016年底，國(guó)家存儲(chǔ)器基地項(xiàng)目(一期)一號(hào)生產(chǎn)和動(dòng)力廠(chǎng)房在武漢正式開(kāi)工建設(shè)，2017年9月底提前封頂，2018年4月5日首批價(jià)值400萬(wàn)美元的精密儀器進(jìn)場(chǎng)安裝。

國(guó)家存儲(chǔ)器基地項(xiàng)目芯片生產(chǎn)機(jī)安裝儀式

目前，長(zhǎng)江存儲(chǔ)擁有完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的32層堆疊3D NAND閃存已經(jīng)開(kāi)始試產(chǎn)，不少產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè)都拿到了樣片測(cè)試，預(yù)計(jì)今年第四季度量產(chǎn)。同時(shí)，長(zhǎng)江存儲(chǔ)還在推進(jìn)64層堆疊3D閃存，力爭(zhēng)2019年底實(shí)現(xiàn)規(guī)模量產(chǎn)，將與世界領(lǐng)先水平差距縮短到2年之內(nèi)。