核心提示：日本住友電氣工業(yè)株式會(huì)社所屬Sumitomo Electric Device Innovations, Inc. (SEDI)已訂購(gòu)一套4 英寸晶圓規(guī)格AIXTRON 愛(ài)思強(qiáng)CRIUS? MOCVD 系統(tǒng)，以推動(dòng)用于高頻數(shù)據(jù)傳輸應(yīng)用的碳化硅基氮化鎵器件產(chǎn)品的生產(chǎn)。訂單是在2014 年第一季度發(fā)出，該系統(tǒng)將于第三季度交付予橫濱SEDI 的電子設(shè)備部門(mén)。

日本住友電氣工業(yè)株式會(huì)社所屬Sumitomo Electric Device Innovations, Inc. (SEDI)已訂購(gòu)一套4 英寸晶圓規(guī)格AIXTRON 愛(ài)思強(qiáng)CRIUS? MOCVD 系統(tǒng)，以推動(dòng)用于高頻數(shù)據(jù)傳輸應(yīng)用的碳化硅基氮化鎵器件產(chǎn)品的生產(chǎn)。訂單是在2014 年第一季度發(fā)出，該系統(tǒng)將于第三季度交付予橫濱SEDI 的電子設(shè)備部門(mén)。

SEDI 預(yù)期2015 年其產(chǎn)品將開(kāi)始出現(xiàn)需求上升的趨勢(shì)并為此做以準(zhǔn)備。對(duì)于高成本的碳化硅基的產(chǎn)品生產(chǎn)而言，沉積均勻性及工藝的精準(zhǔn)控制至關(guān)重要，選用AIXTRON 系統(tǒng)正是基于其產(chǎn)品在此方面具有極佳的聲譽(yù)。這款全新的反應(yīng)器配備動(dòng)態(tài)間隙調(diào)整、ARGUS 實(shí)時(shí)溫度控制和EpiCurveTT 駐在監(jiān)測(cè)系統(tǒng)等輔助功能。ARGUS 監(jiān)控裝置可提供全部晶圓的實(shí)時(shí)溫度映像,從而實(shí)現(xiàn)對(duì)生產(chǎn)工藝的最佳操控，同時(shí)噴淋頭與基材之間間隙的可調(diào)整功能則展現(xiàn)了設(shè)備的靈活性。

SEDI 已在行內(nèi)建立了良好聲譽(yù)，是目前部分最佳高頻器件的供應(yīng)商。該公司提供適用于雷達(dá)、移動(dòng)電話基站及一般應(yīng)用的各種氮化鎵HEMT（高電子遷移率晶體管）器件。這些碳化硅基氮化鎵HEMT 設(shè)備的高頻功率可放大至14 千兆赫。