【導(dǎo)讀】聯(lián)電65奈米制程生產(chǎn)有成，半導(dǎo)體應(yīng)用業(yè)者興趣濃       聯(lián)電宣布其在65奈米制程生產(chǎn)上，已有多家分別生產(chǎn)不同半導(dǎo)體應(yīng)用產(chǎn)品的客戶對于此尖端制程表達(dá)了高度的需求與興趣。       聯(lián)電表示，目前兩家客戶業(yè)已驗(yàn)證其設(shè)計(jì)，并且于聯(lián)電晶圓廠內(nèi)開始制造多種不同的65奈米產(chǎn)品；而其它8家客戶，則有11項(xiàng)產(chǎn)品預(yù)定于今年夏季結(jié)束前完成設(shè)計(jì)定案(tape-out)，芯片設(shè)計(jì)公司可運(yùn)用聯(lián)華電子已建立的可制造性導(dǎo)向設(shè)計(jì)(Design for Manufacturing， DFM)解決方案，如在最近于90奈米制程世代，藉此降低導(dǎo)入設(shè)計(jì)時的風(fēng)險及不確定性，并且獲得65奈米制程技術(shù)可帶來的功率與效能上的優(yōu)勢。       聯(lián)電系統(tǒng)架構(gòu)支持部門林子聲總工程師表示，市場上對于我們65奈米制程的廣大需求，象征了客戶殷切期待此先進(jìn)制程可賦予其產(chǎn)品的效能優(yōu)勢，以及在現(xiàn)今的深次微米制程世代，聯(lián)電DFM解決方案于面對設(shè)計(jì)挑戰(zhàn)時的成功。       事實(shí)上，DFM方面的顧慮自從90奈米制程世代之前就存在了，然而這個議題到最近才得到注意，并且成為討論的焦點(diǎn)，聯(lián)電一直持續(xù)進(jìn)行DFM解決方案的擴(kuò)充，以冀在對設(shè)計(jì)流程干擾最小的情況下，因應(yīng)今日新的制造挑戰(zhàn)。采用我們90奈米制程技術(shù)的客戶已受惠于此方案，現(xiàn)在，我們很高興能夠?qū)⑦@項(xiàng)競爭優(yōu)勢擴(kuò)展至采用我們65奈米及以下制程的客戶。       除客制化的方法之外，聯(lián)電的DFM解決方案還涵蓋了能包含繁復(fù)制造過程的DFM兼容硅智財(cái)。聯(lián)華電子也為每一個客戶提供設(shè)計(jì)定案后的服務(wù)，包括光學(xué)鄰近效應(yīng)修正(OPC)，光學(xué)規(guī)則檢驗(yàn)(LRC)，無作用金屬填充，金屬導(dǎo)線溝槽化…等等。       聯(lián)電完整的DFM解決方案包含了微影制程檢查(LPC)、關(guān)鍵區(qū)域分析(CAA)、光學(xué)與化學(xué)金屬研磨可感應(yīng)變化的抽取、熱沖擊分析，以及統(tǒng)計(jì)靜態(tài)時序分析(SSTA)等，聯(lián)電與所有主要的電子設(shè)計(jì)自動化廠商，以及提供特定DFM解決方案的DFM公司攜手合作，建構(gòu)了此一全面性的65奈米方案。       聯(lián)電的65奈米制程目前正在其臺灣與新加坡的12吋晶圓廠內(nèi)朝量產(chǎn)化邁進(jìn)。