回顧國內(nèi)平板顯示行業(yè)的10年發(fā)展，無論是此前CRT、PDP與LCD之爭(zhēng)，還是現(xiàn)在新型顯示技術(shù)OLED與液晶技術(shù)之爭(zhēng)，我們都可以看到新技術(shù)正逐漸涌現(xiàn)。"顯示器行業(yè)正處在技術(shù)變革和需求變革的時(shí)代。"應(yīng)用材料公司平板顯示CVD產(chǎn)品事業(yè)部總經(jīng)理肖勁松這樣講道。

其實(shí)我們?cè)诟鞔笾亓考?jí)的展會(huì)上，如美國的CES，德國的IFA等等都可以感受到顯示技術(shù)發(fā)展之迅速。而2014年CES展會(huì)上曲面、4k、OLED成為關(guān)注的焦點(diǎn)。當(dāng)1080P正在逐漸走向主流時(shí)，4K顯示時(shí)代又悄然來臨，與此同時(shí)8K顯示又躍躍欲試。這些現(xiàn)象歸結(jié)在于人們對(duì)更高視覺體驗(yàn)的追求一直沒有停歇，我們正在迎接一個(gè)高解析度顯示時(shí)代。為應(yīng)對(duì)全新的技術(shù)挑戰(zhàn)，客觀上需要面板廠商與上游設(shè)備和材料供應(yīng)商緊密合作。

應(yīng)用材料公司作為全球最大的半導(dǎo)體設(shè)備及服務(wù)供應(yīng)商，同時(shí)在顯示器領(lǐng)域不斷開發(fā)新技術(shù)，推動(dòng)顯示技術(shù)走向未來。由于在平面顯示器制造電漿強(qiáng)化化學(xué)氣相沉積(PECVD)技術(shù)領(lǐng)域的突出貢獻(xiàn)，應(yīng)用材料榮獲了2013年度IEEE企業(yè)創(chuàng)新獎(jiǎng)。IEEE是全球最大的專業(yè)協(xié)會(huì)，以促進(jìn)人類科技躍進(jìn)為宗旨。3月20日，應(yīng)用材料公司平板顯示CVD產(chǎn)品事業(yè)部總經(jīng)理肖勁松以及PVD產(chǎn)品事業(yè)部研發(fā)總監(jiān)Marcus Bender博士為我們分享了應(yīng)用材料公司在高解析度顯示時(shí)代的TFT和TFE解決方案。

　　一、金屬氧化物TFT解決方案

金屬氧化物對(duì)于設(shè)備穩(wěn)定性及顯示色差（Mura）要求比較高，同時(shí)金屬氧化物主要應(yīng)用在高清晰度的移動(dòng)設(shè)備和OLED TV上面，對(duì)于顆粒度要求更高，需要通過顆粒度的控制來提高良品率。

應(yīng)用材料公司的CVD采用雙層膜結(jié)構(gòu)，在傳統(tǒng)氮化硅基礎(chǔ)上采用二氧化硅膜層。二氧化硅含氫量比較低，這樣就能達(dá)到很好的均勻性。而在PVD方面通過提升IGZO的膜厚以及均勻性，同時(shí)采用地顆粒度的系統(tǒng)設(shè)計(jì)，來避免金屬氧化物色差（Mura）的產(chǎn)生。正是基于在CVD及PVD方面的獨(dú)特工藝與設(shè)計(jì)，目前全球主要的廠商都采用應(yīng)用材料公司的設(shè)備。

具體來講，CVD采用空心陰極梯度遞減技術(shù)（HCG），在大面積玻璃表面形成均勻的等離子體，保證大規(guī)模化學(xué)沉積的均勻性。另外采用自上而下的RPSC工藝（遠(yuǎn)程等等離子體清洗），提升均勻性。通過這些設(shè)計(jì)，可以達(dá)到第十代的膜厚均勻性。而在PVD方面，相對(duì)于傳統(tǒng)工藝來說，采用了旋轉(zhuǎn)陰極的解決方案。旋轉(zhuǎn)靶可以增加氣流均勻性，對(duì)于膜層均勻性提升有很大的幫助。同時(shí)旋轉(zhuǎn)靶能夠使結(jié)瘤和再沉積最小化，相對(duì)于傳統(tǒng)平面靶在缺陷控制上有很大的提升。

　　二、LTPS（低溫多晶硅）TFT解決方案

高分辨率移動(dòng)顯示時(shí)代，隨著相似體積的減小，OLED和LCD屏幕都需要采用雙電容技術(shù)。對(duì)于CVD及PVD均勻性和低顆粒度特性都提出了新的要求。應(yīng)用材料公司是業(yè)界唯一一家能夠提供從5.5代、6代到8.5代生產(chǎn)設(shè)備解決方案的企業(yè)。在PVD均勻性方面，應(yīng)用材料公司在2013年為10%到8%，2014年達(dá)到5%，2015年將達(dá)到3%。

在CVD方面2014年將重點(diǎn)研發(fā)鎖閥門減震及零沖擊狹縫閥技術(shù)，來盡可能降低震動(dòng)帶來的副產(chǎn)物沉積。而在PVD方面，繼續(xù)優(yōu)化薄膜均勻性。通過搖擺和SSM（定向?qū)菫R射）、切角加工實(shí)現(xiàn)邊緣無膜區(qū)、材料分段數(shù)等方式來提高薄膜的均勻性。

　　三、薄膜封裝解決方案

OLED薄膜封裝對(duì)于更可靠、柔軟的阻隔層，減少顆粒，邊緣階梯覆蓋及MASK對(duì)準(zhǔn)精度提出新的挑戰(zhàn)。為此，應(yīng)用材料公司提出全新的全CVD膜系結(jié)構(gòu)。在薄膜封裝過程中采用氮化硅做阻水層提高阻水性；采用光學(xué)對(duì)準(zhǔn)掩膜板保證出片率；采用并行流程提高開機(jī)率。

另據(jù)應(yīng)用材料中國區(qū)銷售經(jīng)理方甦棣介紹，2013年中國占全市電視機(jī)市場(chǎng)的26%，同時(shí)中國智能手機(jī)也占全球32%。中國正在成長(zhǎng)為全球最大的顯示屏生產(chǎn)國以及顯示產(chǎn)業(yè)投資國，并且對(duì)于新型顯示技術(shù)的研發(fā)和接受度逐漸提升。應(yīng)用材料公司已在國內(nèi)市場(chǎng)深耕30年，具有很好的"本土化"優(yōu)勢(shì)，也將與中國客戶更加緊密合作，加速新技術(shù)導(dǎo)入與新產(chǎn)品上市。