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[導(dǎo)讀]直到2000年代中期,除Sharp之外,大部分的TFT-LCD面板制造商采用鋁或AI(鉬Mo或鉬合金)于gate與S/D電極上,雖然也有部分設(shè)備采用鉻(Cr),但90%以上設(shè)備仍以AI為主。隨著電視面板尺寸的大型化,電極需要更低的電阻金屬

直到2000年代中期,除Sharp之外,大部分的TFT-LCD面板制造商采用鋁或AI(鉬Mo或鉬合金)于gate與S/D電極上,雖然也有部分設(shè)備采用鉻(Cr),但90%以上設(shè)備仍以AI為主。隨著電視面板尺寸的大型化,電極需要更低的電阻金屬,因此提高了對(duì)銅(Cu)電極的需求。

銅電極與AI相比其導(dǎo)電率較高,若將配線的粗細(xì)制做得相對(duì)較細(xì),也幾乎不會(huì)產(chǎn)生電子信號(hào)失常的現(xiàn)象,且能夠傳送穩(wěn)定信號(hào)。由此可以改善響應(yīng)速度及亮度等問(wèn)題。另外,在大尺寸TV面板制造過(guò)程更顯優(yōu)勢(shì),將不再為了改善導(dǎo)電率,增加其他附加的材料或制程。因此,許多廠商投入大量研發(fā)于銅電極制程的量產(chǎn)。

LG Display自2006年開(kāi)始,為全球第一家廠商將銅電極導(dǎo)入其量產(chǎn)產(chǎn)線之中。并且,LGD在2008~2009年大幅提高了銅電極的應(yīng)用比重,直至目前大部分的產(chǎn)品均已采用銅電極制程。在LG Display引進(jìn)銅電極之后,三星Display,AUO,Innolux,Panasonic LCD,Sharp等企業(yè)也開(kāi)始跟進(jìn)銅電極制程,但直至2010年為止,除LG Display以外,尚無(wú)企業(yè)能順利量產(chǎn)銅電極制程的面板。

2010年下半年起,三星電子(現(xiàn)三星Display)為全球第二家廠商開(kāi)始將銅電極應(yīng)用于產(chǎn)線,但經(jīng)歷諸多困境,在產(chǎn)線擴(kuò)大應(yīng)用方面,花費(fèi)許多時(shí)間,2013年以后,三星Display終于也在大部分的量產(chǎn)產(chǎn)線中采用了銅電極。雖然早期對(duì)S/D的銅電極采用比重極為低,但近期在S/D電極上采用銅電極的比重正在大幅提高。除LG Display以外的其他企業(yè),雖然也都認(rèn)知到銅電極的必要性,正不斷地對(duì)其進(jìn)行著研究開(kāi)發(fā),但自LG Display采用后,只少需要花五年以上的時(shí)間來(lái)實(shí)現(xiàn)銅電極的應(yīng)用。但隨著面板分辨率的飛躍性發(fā)展與UHD面板量產(chǎn)的開(kāi)始對(duì)銅電極的必要性正逐漸被放大。

據(jù)了解,為迎合目前的市場(chǎng)氛圍,三星Display正將銅電極應(yīng)用的比重大幅增加,而臺(tái)灣的AUO在經(jīng)歷過(guò)長(zhǎng)期開(kāi)發(fā)之后,最終也從2013年正式開(kāi)始將銅電極應(yīng)用于量產(chǎn)產(chǎn)在線。另外,隨著2013~2014年UHD面板的生產(chǎn)開(kāi)始增加后,正準(zhǔn)備實(shí)施UHD面板批量生產(chǎn)的中國(guó)面板制造商,也正努力研究產(chǎn)線中銅電極的應(yīng)用。同時(shí),2014年CSOT與BOE已計(jì)劃將銅電極應(yīng)用于部分設(shè)備上。

由于UHD面板的暢銷(xiāo),銅配線的必要性也隨之變大。據(jù)此主要TFT LCD面板制造商,正擴(kuò)大對(duì)銅配線的應(yīng)用或正處于導(dǎo)入的準(zhǔn)備之中。由此可推斷銅將成為T(mén)FT LCD面板配線的主流。

在IHS近期發(fā)行的“TFT LCD面板的銅電極適用動(dòng)向”報(bào)告書(shū)中探討了銅電極應(yīng)用擴(kuò)大的趨勢(shì),主要TFT LCD面板制造商(LGC,SDC,AUO,INX,BOE,CSOT)的銅電極采用現(xiàn)狀及其開(kāi)發(fā)動(dòng)向。本報(bào)告書(shū)中分析了面板制造商的產(chǎn)線別銅電極應(yīng)用現(xiàn)狀,銅電極應(yīng)用結(jié)構(gòu),銅電極結(jié)構(gòu)及根據(jù)設(shè)備而定的生產(chǎn)比重,已導(dǎo)入銅電極的主要面板金屬層結(jié)構(gòu)(厚度及物質(zhì))等。另外,也展望了2014~2015年各面板制造商對(duì)銅電極的產(chǎn)線別應(yīng)用變化。

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