在政策支持和資金補(bǔ)貼的大力支持下，中國大陸的MOCVD設(shè)備需求量和增速居世界首位，但長久以來設(shè)備市場一直被國際兩大MOCVD廠商德國AIXTRON和美國VEECO占據(jù)壟斷地位。擺脫對(duì)進(jìn)口設(shè)備的依賴，實(shí)現(xiàn)MOCVD設(shè)備的國產(chǎn)化，不僅是企業(yè)的需求、市場的需求，更是整個(gè)產(chǎn)業(yè)的需求?？萍疾堪l(fā)布的《半導(dǎo)體照明產(chǎn)業(yè)“十二五”規(guī)劃》中也提出，到2015年，大型MOCVD裝備、關(guān)鍵原材料將實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)化。

其實(shí)，國內(nèi)不少企業(yè)和研究機(jī)構(gòu)一直致力于MOCVD設(shè)備的研究，但大多是研制出樣機(jī)之后便無下文。國產(chǎn)MOCVD設(shè)備一直在量產(chǎn)化和“賣出第一臺(tái)設(shè)備”上困難叢叢。雖然在走向市場的過程中有些緩慢，但歷經(jīng)幾年的艱辛研發(fā)和技術(shù)攻關(guān)，國產(chǎn)MOCVD廠商，比如廣東昭信半導(dǎo)體、理想新能源、中科宏微、中晟光電、中微半導(dǎo)體、思捷愛普等在內(nèi)的多家企業(yè)不僅推出了首臺(tái)設(shè)備，還在市場化和量產(chǎn)方面成功的邁出了第一步。

下面，我們就回顧一下，2013年國產(chǎn)MOCVD設(shè)備廠商都取得了哪些喜人的進(jìn)展?

一、理想能源MOCVD設(shè)備于璨揚(yáng)光電正式投入試量產(chǎn)

2013年10月18日，理想能源設(shè)備(上海)有限公司與璨圓光電股份有限公司聯(lián)合宣布：理想能源MOCVD設(shè)備已于臺(tái)灣璨圓光電股份有限公司位于揚(yáng)州的子公司-江蘇璨揚(yáng)光電有限公司的外延工廠正式投入試量產(chǎn)。 這是繼2012年12月具有國際尖端技術(shù)水平的首臺(tái)MOCVD設(shè)備下線之后，理想能源與璨圓光電攜手在國產(chǎn)MOCVD設(shè)備產(chǎn)業(yè)化方面取得的又一重大突破，實(shí)現(xiàn)了MOCVD設(shè)備完全自制化。

二、中晟光電大型MOCVD設(shè)備ProMaxyTM正式進(jìn)入市場

2013年3月19日，中晟光電設(shè)備(上海)有限公司正式發(fā)布大型 MOCVD 設(shè)備 ProMaxyTM 進(jìn)入市場。已有客戶接受多腔 ProMaxyTM 并調(diào)試進(jìn)展順利。此外，多家客戶對(duì) ProMaxyTM完成了現(xiàn)場驗(yàn)機(jī)與評(píng)估。

三、中微MOCVD設(shè)備技術(shù)性突破大獲LED業(yè)界認(rèn)可

中微MOCVD設(shè)備Prismo D-Blue?第十五屆中國國際工業(yè)博覽會(huì)(簡稱“工博會(huì)”)上榮獲銀獎(jiǎng)。該產(chǎn)品于今年3月正式發(fā)布，是此次獲獎(jiǎng)產(chǎn)品中唯一代表半導(dǎo)體外延工藝的MOCVD設(shè)備，該產(chǎn)品技術(shù)對(duì)于高亮度LED的大規(guī)模生產(chǎn)至關(guān)重要。上海藍(lán)光科技有限公司是中微MOCVD設(shè)備的第一批用戶之一，藍(lán)光公司技術(shù)和質(zhì)量管理副總裁郝茂盛博士特別提出：“中微的設(shè)備性能超出了我們的預(yù)期，達(dá)到了MOCVD設(shè)備所應(yīng)具備的高工藝標(biāo)準(zhǔn)?！?/p>

四、昭信半導(dǎo)體MOCVD設(shè)備正式交付量晶光電

2013年7月，昭信半導(dǎo)體迎來了發(fā)展歷程上的又一個(gè)春天，公司定位于廣東量晶光電科技有限公司的首臺(tái)生產(chǎn)型MOCVD設(shè)備通過驗(yàn)收，正式交付量晶光電。這是昭信半導(dǎo)體MOCVD設(shè)備邁出市場化進(jìn)程重要一步的又一個(gè)歷史性時(shí)刻。

相比前些年，國產(chǎn)mocvd設(shè)備廠商研制出樣機(jī)的新聞，今年有關(guān)國產(chǎn)MOCVD量產(chǎn)和交付使用的新聞逐漸成為主流。這從整體上說明了我國國產(chǎn)mocvd設(shè)備逐步被市場接受和認(rèn)可。但在設(shè)備的穩(wěn)定性、產(chǎn)品品質(zhì)的一致性、設(shè)備的易操作性、交付使用后的設(shè)備調(diào)整使用以及服務(wù)方面，特別是幫助外延芯片企業(yè)降低生產(chǎn)成本、提升產(chǎn)品品質(zhì)、提升市場的普遍認(rèn)可度等方面，國產(chǎn)MOCVD設(shè)備廠商還有很長一段路要走。