日科學(xué)家開發(fā)出以氧化鋅薄膜取代銦的液晶面板制造技術(shù)
日本高知工科大學(xué)與三菱Gas化學(xué)公司，開發(fā)出制造液晶面板時不使用稀有金屬銦，而以氧化鋅取代的技術(shù)。截至目前為止，該大學(xué)已經(jīng)確立了取代75%銦的技術(shù)，剩下的25%替代技術(shù)也有了眉目。
液晶面板是以上下兩片氧化銦錫（ITO）薄膜電極夾住液晶，電極的膜厚上下不同，銦的使用量據(jù)云上部電極為75%，下部電極為25%。
新開發(fā)的技術(shù)是將下部的電極作成氧化鋅薄膜，使用弱酸性的蝕刻液及有機(jī)堿性阻劑顯像液，可以與市售面板同精度的4微米單位，將微細(xì)圖案加工在氧化鋅薄膜上。若無法進(jìn)行微細(xì)圖案的加工，將無法得到漂亮的液晶顯示。
鋅的耐酸性與耐堿性均較銦為差，一旦接觸到藥液即瞬間溶解，很難制作微細(xì)的圖案。高知工科大學(xué)與三菱Gas化學(xué)公司，本次是通過調(diào)整顯示酸與堿強(qiáng)度的ph值來抑制溶解。
先行開發(fā)出替代技術(shù)的上部薄膜電極，并不需要進(jìn)行微細(xì)圖案的加工。今后的課題在針對下部薄膜，開發(fā)可以轉(zhuǎn)用至面板量產(chǎn)裝置的新技術(shù)。（編輯：于占濤）
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關(guān)鍵字： 薄膜 溫度 等離子體 超大規(guī)模集成電路
