????????????????????????????????????????????????????????????? ――訪Crossing Automation公司產(chǎn)品營(yíng)銷(xiāo)副總裁May Su

從手動(dòng)到自動(dòng)，半導(dǎo)體制造經(jīng)歷了技術(shù)的飛躍，也使得自動(dòng)化技術(shù)日趨完善。“受到摩爾定律的推動(dòng)，硅晶圓廠需要有更為嚴(yán)格的在潔凈度和產(chǎn)量上的要求，以提高其產(chǎn)品的良品率、生產(chǎn)率和降低其成本。到了200mm硅晶圓這一技術(shù)節(jié)點(diǎn)時(shí)，才首次產(chǎn)生了具有真正意義上的自動(dòng)化系統(tǒng)來(lái)裝載和傳送硅圓片?！盡ay Su說(shuō)，“很多最新的開(kāi)發(fā)進(jìn)展已經(jīng)為現(xiàn)存的或新建的200mm硅晶圓廠提供了很好的選擇性改裝的機(jī)遇，使其能像最先進(jìn)300mm硅晶圓廠一樣獲得提高生產(chǎn)率的優(yōu)勢(shì)。面向硅晶圓制造的自動(dòng)化系統(tǒng)已經(jīng)得到了很大的進(jìn)步，特別是在過(guò)去的10年中它的發(fā)展更為顯著?！?/p>

May Su表示，Crossing Automation公司在200 mm 市場(chǎng)擁有強(qiáng)勁的實(shí)力和廣泛的解決方案組合，并在200 mm 工具翻新和功能提升方面具備豐富的經(jīng)驗(yàn)，公司擁有最大規(guī)模的200 mm 工具安裝基礎(chǔ)。Crossing Automation市場(chǎng)領(lǐng)先的200 mm標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械界面(SMIF)技術(shù)是一項(xiàng)成熟的關(guān)鍵支持技術(shù)，能夠?qū)崿F(xiàn)將標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械界面(SMIF) 技術(shù)應(yīng)用于工具中所帶來(lái)的預(yù)期效益。所有這些使得Crossing Automation能夠?yàn)榭蛻?hù)提供定制解決方案，通過(guò)晶圓和工具級(jí)自動(dòng)化，并以一種其它自動(dòng)化廠商無(wú)法實(shí)現(xiàn)的方式來(lái)提高200 mm 生產(chǎn)工廠的生產(chǎn)力和產(chǎn)量。在封裝領(lǐng)域，Crossing Automation公司將通過(guò)實(shí)施合理成本效益的自動(dòng)化解決方案繼續(xù)支持硅穿孔(TSV)和晶圓級(jí)封裝趨勢(shì)。

“在中國(guó)，很多老式200 mm 設(shè)備實(shí)現(xiàn)了再利用，并且這些設(shè)備經(jīng)轉(zhuǎn)化后可支持環(huán)境控制的標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械界面 (SMIF) 晶圓盒。這兩項(xiàng)因素使得中國(guó)能夠提升其作為小型幾何元件低成本制造地的地位。市場(chǎng)上有多種200 mm設(shè)備，但其中的大多數(shù)最初是用于生產(chǎn)0.25以上微米節(jié)點(diǎn)，因此不受環(huán)境控制，并且其清潔和操作要求也大不相同。”May Su說(shuō)，“中國(guó)制造商目前正在購(gòu)買(mǎi)這些設(shè)備，并將其用于0.25以下微米制造工藝。這意味著這些工具目前要求針對(duì)晶圓實(shí)施更多環(huán)境控制。為了最大程度上減少微粒污染和實(shí)現(xiàn)產(chǎn)量最大化，200 mm 晶圓廠正在利用 SMIF 技術(shù)等方法對(duì)工具進(jìn)行升級(jí)，以提高晶圓廠生產(chǎn)力和設(shè)備性能?！?/p>

此次SEMICON China期間，Crossing Automation展示了其全新高效率與高清潔度的標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械化接口晶圓加載機(jī)，可延長(zhǎng)200mm半導(dǎo)體晶圓廠壽命，并擁有比180nm更先進(jìn)的技術(shù)。Crossing Automation的解決方案可將標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械化接口應(yīng)用于開(kāi)放式晶圓匣工具上，使各種200mm設(shè)備均可為晶圓廠帶來(lái)標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械化接口的優(yōu)勢(shì)。

2011年，Crossing Automation公司可能會(huì)在中國(guó)超越銷(xiāo)售和服務(wù)辦事處，開(kāi)展更加廣泛和具體的業(yè)務(wù)活動(dòng)，并希望在年底之前在中國(guó)設(shè)立一家技術(shù)中心，包括設(shè)計(jì)、代客定制和提高制造能力等。鑒于整個(gè)亞洲市場(chǎng)的顯著增長(zhǎng)、中國(guó)的巨大發(fā)展和中國(guó)市場(chǎng)的獨(dú)特要求，在銷(xiāo)售市場(chǎng)本土設(shè)立業(yè)務(wù)機(jī)構(gòu)已經(jīng)成為有效服務(wù)客戶(hù)的一項(xiàng)必備條件。

在光伏領(lǐng)域，Crossing Automation公司也已取得重要進(jìn)展。綜合性物料跟蹤系統(tǒng)裝置得到了臺(tái)灣大部分太陽(yáng)能電池制造商的認(rèn)購(gòu)，這說(shuō)明，半導(dǎo)體生產(chǎn)中的自動(dòng)化物料運(yùn)動(dòng)能夠用來(lái)提高相關(guān)市場(chǎng)中的生產(chǎn)效率。

“Crossing Automation是向作為我們成長(zhǎng)計(jì)劃一部分的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)提供自動(dòng)化設(shè)備的全球領(lǐng)先廠商，我們積極地工作以將我們的解決方案向鄰近市場(chǎng)拓展?！盡ay Su說(shuō)，“在光伏領(lǐng)域這個(gè)行業(yè)里，我們看到物料處理自動(dòng)化方面的巨大潛力。我們積極地與光伏廠商進(jìn)行探討，從而更好地認(rèn)識(shí)和定義太陽(yáng)能市場(chǎng)所需并與我們的能力集合相匹配的技術(shù)。這次訂購(gòu)就是這類(lèi)合作的直接結(jié)果，它讓我們相信有機(jī)會(huì)進(jìn)軍這個(gè)增長(zhǎng)市場(chǎng)。”

?