日本東北大學(xué)的微系統(tǒng)融合研究開(kāi)發(fā)中心2010年4月開(kāi)設(shè)的MEMS（Micro Electro Mechanical Systems）“試制Coin Laundry”，從目前半導(dǎo)體制造裝置的維護(hù)狀態(tài)來(lái)看，預(yù)計(jì)可在今年10月前后正式啟動(dòng)。這一消息是東北大學(xué)原子分子材料科學(xué)高等研究機(jī)構(gòu)的江刺正喜教 授在7月28日舉行的“東北大學(xué)—產(chǎn)綜研聯(lián)合公開(kāi)演講會(huì)”上公布的。

試制的Coin Laundry是一個(gè)以合理的費(fèi)用向企業(yè)等開(kāi)放以MEMS用途為中心的半導(dǎo)體試制裝置和試產(chǎn)線，向眾多企業(yè)提供MEMS試制設(shè)備群。在半導(dǎo)體企業(yè)中，有一 些企業(yè)雖然擁有MEMS試制技術(shù)，但是沒(méi)有高價(jià)位的生產(chǎn)工藝裝置，因此不得不委托外部試制。此次試制的Coin Laundry將向此類企業(yè)提供可以自己試制MEMS的場(chǎng)所。另外江刺教授還介紹說(shuō)，“即使自己目前沒(méi)有設(shè)備，也可以確保培養(yǎng)自己的MEMS設(shè)計(jì)及制造技 術(shù)人員的機(jī)會(huì)”。

此次Coin Laundry將實(shí)行不從企業(yè)接受委托研究的方針。原因是此次的Coin Laundry是一個(gè)用來(lái)讓用戶企業(yè)提高自己的設(shè)計(jì)及制造技術(shù)的場(chǎng)所。江刺教授介紹說(shuō)，通過(guò)完善此次的MEMS試制Coin Laundry，“將可以大幅降低MEMS的開(kāi)發(fā)風(fēng)險(xiǎn)和成本”。據(jù)江刺教授介紹，由于可以有效利用東北大學(xué)等擁有的MEMS試制經(jīng)驗(yàn)等，因此能夠運(yùn)用降低 開(kāi)發(fā)風(fēng)險(xiǎn)的具體措施。

當(dāng)不具備MEMS設(shè)計(jì)及制造技術(shù)的企業(yè)希望進(jìn)行MEMS試制時(shí)，還有另一個(gè)選擇：即由東北大學(xué)創(chuàng)建的風(fēng)險(xiǎn)企業(yè)——MEMS CORE公司（仙臺(tái)市）接受委托開(kāi)發(fā)。該公司是微系統(tǒng)融合研究開(kāi)發(fā)中心的贊助企業(yè)之一。

原財(cái)團(tuán)法人半導(dǎo)體研究振興會(huì)（2008年3月解散）將大樓和半導(dǎo)體生產(chǎn)線等捐贈(zèng)給了東北大學(xué)，后作為西澤潤(rùn)一紀(jì)念研究中心重新啟用，該試制Coin Laundry就設(shè)在大樓二層的潔凈室（1800平米）內(nèi)。Coin Laundry將用來(lái)放置約1000平米的半導(dǎo)體制造裝置和4/6英寸的半導(dǎo)體試產(chǎn)線。雖然試生產(chǎn)線擁有晶圓清洗、光刻、成膜、蝕刻以及測(cè)量工序等主要裝 置，但是由于曾有一段時(shí)間未啟動(dòng)的緣故，因此目前正在檢測(cè)與維護(hù)裝置以便重新啟用。

江刺教授是從今年開(kāi)始實(shí)施的日本文部科學(xué)省最尖端研究支援項(xiàng)目“微系統(tǒng)融合研究開(kāi)發(fā)”的核心研究成員，因此該試制Coin Laundry“將隸屬于最尖端研究支援項(xiàng)目”。Coin Laundry的運(yùn)營(yíng)負(fù)責(zé)人由微系統(tǒng)融合研究開(kāi)發(fā)中心的戶津健太郎準(zhǔn)教授擔(dān)任。（特約撰稿人：丸山 正明）