近期由國內半導體行業(yè)資訊，萬業(yè)企業(yè)全資子公司上海凱世通半導體股份有限公司(以下簡稱“凱世通”)的低能大束流集成電路離子注入機已搬進杭州灣潔凈室，目前正在根據集成電路芯片客戶工藝要求，進入離子注入晶圓驗證階段。

業(yè)內人士指出，這標志著公司已具備先進制程的低能大束流離子注入整機工藝驗證的能力，未來有望為全球先進制程邏輯、存儲、5G 射頻、攝像頭 CIS、功率半導體等不同應用領域芯片客戶提供離子注入工藝驗證服務，提升客戶晶圓制造能力與芯片性能。

近年來，萬業(yè)企業(yè)積極謀求轉型集成電路，以“外延并購+產業(yè)整合”雙輪驅動，縱深推進公司快速變革。2018 年，公司成功收購國內唯一商用的光伏與集成電路離子注入機公司——凱世通，切入離子注入機業(yè)務。

據了解，離子注入是芯片制造前道工藝中必不可少的一道，每個芯片制造過程中都需進行 20-25 次的離子注入，因而離子注入機的研制是整個半導體產業(yè)的基礎。由于離子注入機至關重要，業(yè)內將其與光刻機、刻蝕設備和薄膜沉積設備被并稱為集成電路制造的“四大金剛”。

公開資料顯示，離子注入機是芯片制造必不可少的關鍵設備之一，為快速突破集成電路國產化瓶頸，近年來，國產離子注入機也受到國家政策的重點支持。2014 年，在《國家集成電路產業(yè)發(fā)展推進綱要》中，明確指出離子注入機是發(fā)展我國集成電路產業(yè)的關鍵設備;2017 年，發(fā)改委頒布的《戰(zhàn)略性新興產業(yè)重點產品和服務指導目錄》中將集成電路離子注入機納入目錄范圍;2018 年，工信部發(fā)布的《首臺(套)重大技術裝備推廣應用指導目錄》，將中束流、大束流以及高能離子注入機列入名單。從各類政策可見，萬業(yè)企業(yè)專注研發(fā)的離子注入機等制造裝備已是半導體產業(yè)鏈國產化過程中必需攻克的關鍵一環(huán)。

隨著集成電路工藝技術的持續(xù)提升，晶體管不斷縮小，集成電路制程進一步向尖端工藝發(fā)展，這對相關生產制造設備也提出了更高的要求。在此背景下，萬業(yè)企業(yè)聚焦的技術含量最高的低能大束流離子注入機日漸成為主流。根據浦東投資的統(tǒng)計，目前低能大束流已占有離子注入機市場份額的 55%。

結合國內外集成電路制程技術路線現狀，凱世通采取“領先一步”的策略、采用有國際競爭力設計理念，著力研制 16 納米及以下制程的 FinFET 集成電路離子注入機，并針對研制低能大束流離子注入機所需要解決的關鍵技術和技術難點，建立起相應的研發(fā)平臺、相關核心關鍵技術及工藝的研究參數數據庫和性能檢測規(guī)范標準。