一、應(yīng)用背景：

磁控濺射是一種磁控運(yùn)行模式的二次濺射。此種技術(shù)廣泛應(yīng)用于鍍膜設(shè)備上，它不僅適用于廣泛的鍍膜靶材(如：銅、鈦、鉻、不繡鋼、鎳等金屬材料)，而且鍍膜時還可大幅度提高膜層的附著力、重復(fù)性、致密度和均勻度。

磁控濺射鍍膜設(shè)備主要是使用直流磁控濺射，常需要2路輸出穩(wěn)定的直流電源，設(shè)定一個電壓值后，要求快速響應(yīng)到電壓的設(shè)定值。電源使用過程中必須保持穩(wěn)定性，電壓數(shù)值不能受負(fù)載影響。然而，市面上常用的開關(guān)電源為開環(huán)控制，無法確保穩(wěn)定輸出，而一個穩(wěn)定的電壓對鍍膜好壞至關(guān)重要，因此設(shè)想通過PLC的PID算法，利用現(xiàn)有的直流開關(guān)電源，實現(xiàn)電源的快速調(diào)節(jié)和閉環(huán)管理。

如下圖所示，在智能電源控制系統(tǒng)上需要4AI來檢測兩路直流穩(wěn)壓電源的電流信號和電壓信號，作為智能電源的反饋信號;需要使用2AO來控制電壓輸出，使電源具有良好的負(fù)載特性，保持恒壓輸出。

綜合上述需求，PLC選擇海為的S20M0T的開關(guān)量與模擬量混合型主機(jī)，主機(jī)自帶4路AI模擬量線性輸入，2路AO模擬量線性輸出，模擬量支持工程量轉(zhuǎn)換,AIAQ寄存器可直接訪問，在模擬量信號處理時非常方便，節(jié)省了不少編程時間;主機(jī)還支持32路的PID指令;更重要的是一個主機(jī)就搞定了，不需額外添加擴(kuò)展模塊，經(jīng)濟(jì)實惠。

二、現(xiàn)場使用情況：

現(xiàn)場圖片如下：

圖1機(jī)箱正面圖

圖2內(nèi)部電路

圖3PLC

圖4觸摸屏界面

圖5觸摸屏界面

圖6機(jī)箱背面

圖7模擬負(fù)載電阻

PID指令，即特殊控制指令里的PID指令，海為全系列PLC都支持。本系統(tǒng)根據(jù)負(fù)載的變化，在線監(jiān)控時結(jié)合軟件自帶的實時曲線表調(diào)整參數(shù)，逐一調(diào)整PID三個參數(shù)使之達(dá)到最好的效果。參數(shù)經(jīng)過調(diào)試整定之后，實現(xiàn)了電壓的快速調(diào)節(jié)和穩(wěn)定輸出，實現(xiàn)了電源的閉環(huán)管理，為更好地磁控濺射鍍膜提供了良好的基礎(chǔ)。

三、使用感想：

初次使用海為PLC，感覺其編程軟件非常人性化，易于上手。