MEMS陀螺儀即硅微機電陀螺儀，絕大多數(shù)的MEMS陀螺儀依賴于相互正交的振動和轉(zhuǎn)動引起的交變科里奧利力。MEMS (Micro-Electro-MechaNIcal Systems)是指集機械元素、微型傳感器、微型執(zhí)行器以及信號處理和控制電路、接口電路、通信和電源于一體的完整微型機電系統(tǒng)。

MEMS陀螺儀的重要參數(shù)包括：分辨率(Resolution)、零角速度輸出(零位輸出)、靈敏度(Sensitivity)和測量范圍。這些參數(shù)是評判MEMS陀螺儀性能好壞的重要標志，同時也決定陀螺儀的應用環(huán)境。

分辨率是指陀螺儀能檢測的最小角速度，該參數(shù)與零角速度輸出其實是由陀螺儀的白噪聲決定。這三個參數(shù)主要說明了該陀螺儀的內(nèi)部性能和抗干擾能力。對使用者而言，靈敏度更具有實際的選擇意義。測量范圍是指陀螺儀能夠測量的最大角速度。不同的應用場合對陀螺儀的各種性能指標有不同的要求。

MEMS陀螺儀主要用于測量汽車的旋轉(zhuǎn)速度(轉(zhuǎn)彎或者打滾)，它與低加速度計一起構(gòu)成主動控制系統(tǒng)。所謂主動控制系統(tǒng)就是一旦發(fā)現(xiàn)汽車的狀態(tài)異常，系統(tǒng)在車禍尚未發(fā)生時及時糾正這個異常狀態(tài)或者正確應對個異常狀態(tài)以阻止車禍的發(fā)生。比如在轉(zhuǎn)彎時，系統(tǒng)通過陀螺儀測量角速度就知道方向盤打得過多還是不夠，主動在內(nèi)側(cè)或者外側(cè)車輪上加上適當?shù)膭x車以防止汽車脫離車道。現(xiàn)在這種系統(tǒng)主要安裝于高端汽車上。

目前在汽車MEMS市場，壓力計和加速度計還是占較大份額，但是隨著對汽車安全性能要求越來越高，尤其是在北美和歐洲穩(wěn)定性主控系統(tǒng)的安裝率節(jié)節(jié)攀升，陀螺儀的市場增長率明顯比前兩類要快得多。