利用壓阻效應(yīng)原理，采用集成工藝技術(shù)經(jīng)過(guò)摻雜、擴(kuò)散，沿單晶硅片上的特點(diǎn)晶向，制成應(yīng)變電阻，構(gòu)成惠斯凳電橋。利用硅材料的彈性力學(xué)特性，在同一切硅材料上進(jìn)行各向異性微加工，就制成了一個(gè)集力敏與力電轉(zhuǎn)換檢測(cè)于一體的擴(kuò)散硅傳感器。

選型須知

1、 傳感器、變送器的選擇

用戶根據(jù)自己所測(cè)壓力的性質(zhì)，首先應(yīng)確定選擇表壓(相對(duì)于當(dāng)?shù)卮髿鈮?、差壓、絕對(duì)壓力或負(fù)壓品種。如果測(cè)量液位，還要確定液位上方是自由大氣壓還是密封容器壓力。如果測(cè)量密封承壓容器內(nèi)的液位就應(yīng)該選用差壓產(chǎn)品。

2、 產(chǎn)品量程的確定

從產(chǎn)品絕對(duì)安全考慮，一般選擇使工作壓力值在標(biāo)準(zhǔn)量程值的60%-80%為宜，整個(gè)測(cè)量系統(tǒng)中可能出現(xiàn)的異常情況所導(dǎo)致的過(guò)載壓力不得超過(guò)產(chǎn)品允許的最大過(guò)載。測(cè)量動(dòng)態(tài)管路液體壓力時(shí)，還應(yīng)考慮水垂效應(yīng)，適當(dāng)增大產(chǎn)品載量。

3、 產(chǎn)品精度選擇

產(chǎn)品等級(jí)按多項(xiàng)參數(shù)分檔，檔級(jí)越高，價(jià)格越貴。用戶可依據(jù)所檢測(cè)工況要求各項(xiàng)和某單項(xiàng)參數(shù)精度指標(biāo)，以便用較低的價(jià)格實(shí)現(xiàn)較高的精度要求。產(chǎn)品給出的三項(xiàng)精度指標(biāo)是采用國(guó)際最小二乘法或端基平移法計(jì)算的。選用傳感器時(shí)，精度等級(jí)確定應(yīng)根據(jù)測(cè)量系統(tǒng)分配發(fā)給傳感器的最大誤差選項(xiàng)取。有時(shí)還應(yīng)考慮零位時(shí)漂、零位和滿度溫度系數(shù)帶入的附加誤差。

4、 選擇產(chǎn)品的使用溫度范圍

有些系列的變送器在組裝了電路后又進(jìn)行了綜合溫度補(bǔ)償。補(bǔ)償范圍在單項(xiàng)產(chǎn)品介紹中已標(biāo)出。對(duì)于使用溫度范圍寬而又要求總精度高的用戶，還可在二次儀表數(shù)據(jù)處理中采用軟件執(zhí)行溫度誤差修正。超過(guò)補(bǔ)償區(qū)使用，溫度系數(shù)指標(biāo)可能會(huì)超標(biāo)，但仍可使用。長(zhǎng)期在溫度極限區(qū)工作，產(chǎn)品壽命將大大縮短。

5、 差壓傳感器、變送器的選擇

通用差壓傳感器、變送器通常使用在高壓端壓力高于低壓端壓力的正差壓情況下，雖然擴(kuò)散硅傳感器都可同樣用于負(fù)差壓，一般兩引壓端基本對(duì)稱，但負(fù)壓端一般不另標(biāo)定，如用戶要求兩引壓端高對(duì)稱性，需特別告知。低壓端在系統(tǒng)中有可能出現(xiàn)的超負(fù)量程使用。

6、頻響特性

擴(kuò)散硅傳感器固有頻率相對(duì)于其它產(chǎn)品較高，除此之外更多的情況是傳感器結(jié)構(gòu)的引壓腔結(jié)構(gòu)參數(shù)影響和傳感器結(jié)構(gòu)基體剛體的尺寸影響，后者不可能不限長(zhǎng)，故主要還是引壓腔影響。

7、與被測(cè)介質(zhì)的匹配

傳感器、變送器接囗和電子殼體由多種不同的結(jié)構(gòu)材料生產(chǎn)。具有不同的介質(zhì)兼容性，為了獲得最優(yōu)的使用效果，不致因介質(zhì)不匹配而使產(chǎn)品損壞，用戶在選型定貨時(shí)應(yīng)明白介質(zhì)的準(zhǔn)確名稱、濃度、溫度。

產(chǎn)品安裝使用注意事項(xiàng)

螺紋連接的產(chǎn)品在安裝和拆卸時(shí)，必須用扳手緊六方操作，安裝時(shí)不能擰的過(guò)緊，嚴(yán)禁夾持其它部位安裝、拆卸，避免損壞相關(guān)聯(lián)結(jié)部件。引壓孔端不得有尖硬物伸入，以免損毀敏感膜或隔離膜，嚴(yán)禁敲打、撞擊、摔跌。

擴(kuò)散硅傳感器零位輸出不能直接采用單臂聯(lián)電阻法進(jìn)行消除，可采用軟件歸零法、差動(dòng)輸入修整法、T型電阻網(wǎng)絡(luò)修正等。