今年2月份，ASML在荷蘭總部向媒體公開展示了其最新一代的High-NA EUV光刻機(jī)。作為2nm及以下先進(jìn)制程的必備“武器”，High-NA EUV雖然性能強(qiáng)大，但價(jià)格卻十分昂貴，并且安裝起來(lái)也非常耗時(shí)。

據(jù)官方透露，該設(shè)備單臺(tái)售價(jià)3.5億歐元（約合人民幣27.4億元），重量約為150噸，這個(gè)龐然大物相當(dāng)于兩架空客A320客機(jī)的總重，大小等同于一臺(tái)雙層巴士。而全套系統(tǒng)更是需要250個(gè)貨箱來(lái)裝運(yùn)，裝機(jī)時(shí)間預(yù)計(jì)需要250名工程人員、歷時(shí)6個(gè)月才能完成。

據(jù)悉，英特爾為了能夠從臺(tái)積電手中重新奪回芯片制造技術(shù)的領(lǐng)先地位，不惜拼下血本搶購(gòu)，率先拿下了全球首臺(tái)High-NA EUV光刻機(jī)。為了見證“史上最貴”，英特爾分享了其位于美國(guó)俄勒岡州的D1X工廠內(nèi)、ASML工程團(tuán)隊(duì)安裝調(diào)試該設(shè)備的部分畫面。

從視頻畫面可以看到，該設(shè)備的相關(guān)組件是通過(guò)空運(yùn)從荷蘭運(yùn)到美國(guó)的，因此相比海運(yùn)可以將進(jìn)一步縮短交貨時(shí)間。

此前，外界曾預(yù)計(jì)，該設(shè)備可能將會(huì)被英特爾用于其最先進(jìn)的Intel 18A制程量產(chǎn)。

不過(guò)，英特爾CEO帕特·基辛格在日前的財(cái)報(bào)會(huì)議上表示，Intel 18A預(yù)計(jì)將于2024年下半年實(shí)現(xiàn)制造就緒，但并不是采用High NA EUV量產(chǎn)，該設(shè)備將會(huì)被應(yīng)用于1.8nm以下的挑戰(zhàn)。至于大規(guī)模量產(chǎn)，可能還要等到2025-2026年左右才能實(shí)現(xiàn)。

隨著英特爾的積極入局，最近臺(tái)積電、三星、SK海力士等其他晶圓代工大廠也紛紛訂購(gòu)了High-NA EUV。很明顯，幾大巨頭都在爭(zhēng)相部署2nm工藝節(jié)點(diǎn)，搶奪這一關(guān)鍵先機(jī)。

未來(lái)，英特爾能否如愿在2nm芯片上打敗臺(tái)積電，誰(shuí)又能在這一賽道上脫穎而出，我們拭目以待！