2020年，ASM INTERNATIONAL在原子層沉積（ALD）領(lǐng)域仍然獨(dú)占鰲頭，成為全球最大、占有率最高的ALD設(shè)備供應(yīng)商。另外，在外延生長（Epi）、增強(qiáng)等離子體化學(xué)氣象沉積（PECVD）和立式爐管設(shè)備等領(lǐng)域，ASM INTERNATIONAL也斬獲頗多。

受疫情影響，全球數(shù)字化進(jìn)程發(fā)展迅速，半導(dǎo)體芯片需求旺盛，進(jìn)而刺激了半導(dǎo)體設(shè)備市場的強(qiáng)勁增長。根據(jù)美國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)調(diào)查公司VLSI公布的2020年半導(dǎo)體設(shè)備廠商銷售量排行榜顯示：2020年，半導(dǎo)體銷售額高達(dá)924億美元（約人民幣6035億元），同比增長18%。其中，較之2019年排名情況，ASM INTERNATIONAL表現(xiàn)亮眼，躋身全球前十大半導(dǎo)體設(shè)備廠商之列。

ASM INTERNATIONAL中國區(qū)總經(jīng)理徐來表示，從2016年開始，ASM INTERNATIONAL的營業(yè)額年增長均為兩位數(shù)以上。2018年和2019年增長最快，高達(dá)37%。相較于2019年，2020年ASM INTERNATIONAL總營收超過13億歐元，增長了18%，總體呈現(xiàn)不斷上升的趨勢。這主要得益于中國半導(dǎo)體市場的迅猛增長，以及ASM INTERNATIONAL在全球先進(jìn)邏輯制程市場不斷增長的市場份額，尤其是中國市場，ASM International 中國獲得了3 年10 倍增長的亮眼成績。

圖：2020年ASM INTERNATIONAL總營收增長18%

ASM INTERNATIONAL的業(yè)務(wù)中心和研發(fā)中心分布在全球七個(gè)地區(qū)，包括歐洲兩個(gè)研發(fā)中心。日本和韓國兩大事業(yè)部主要經(jīng)營PEALD（增強(qiáng)等離子原子層沉淀）和PECVE（化學(xué)氣相沉積）。爐管設(shè)備設(shè)計(jì)中心設(shè)在荷蘭，美國有Epi和熱傳導(dǎo)相關(guān)的ALD。

“隨著業(yè)務(wù)的增長，我們不再因?yàn)楣S的面積、生產(chǎn)能力而受限制?，F(xiàn)在就整個(gè)供應(yīng)鏈來講，主要還是受制于零部件的交期，我們供應(yīng)交期的時(shí)間也是根據(jù)每個(gè)月、每個(gè)季度供應(yīng)鏈的交貨情況所決定的。”徐來表示，工廠生產(chǎn)能力方面不會是ASM INTERNATIONAL的瓶頸。

2020年，ASM INTERNATIONAL在原子層沉積（ALD）領(lǐng)域仍然獨(dú)占鰲頭，成為全球最大、占有率最高的ALD設(shè)備供應(yīng)商。另外，在外延生長（Epi）、增強(qiáng)等離子體化學(xué)氣象沉積（PECVD）和立式爐管設(shè)備等領(lǐng)域，ASM INTERNATIONAL也斬獲頗多。

徐來指出，作為ASM INTERNATIONAL的拳頭產(chǎn)業(yè)，ALD占據(jù)了其設(shè)備收入的一半以上，所有設(shè)備均在國內(nèi)有一定裝機(jī)量。其中，Pulsar占比最高，在目前市場上占有率為100%。

“ASM INTERNATIONAL的ALD設(shè)備分為兩類，一類和熱相關(guān)，另一類和等離子相關(guān)。據(jù)VLSI調(diào)查數(shù)據(jù)顯示，我們的單晶圓ALD在2019年全球市場份額中占53%。隨著ALD收入呈兩位數(shù)顯著增長趨勢，我們相信ASM INTERNATIONAL將在2021年依然保持領(lǐng)先地位?！?

圖：ASM INTERNATIONAL部分ALD設(shè)備

Epi在過去幾年是非常熱門的話題，ASM INTERNATIONAL為國內(nèi)客戶提供了更好的選擇。外延生長是指在單晶襯底上生長一層新單晶層，外延生長的新單晶層可在導(dǎo)電類型、電阻率等方面與襯底不同，還可以生長不同厚度和不同要求的多層單晶，從而大大提高器件設(shè)計(jì)的靈活性，改善材料質(zhì)量和器件性能。徐來提到：“講到外延生長，厚外延技術(shù)是ASM INTERNATIONAL最領(lǐng)先的技術(shù)，該技術(shù)為ASM INTERNATIONAL擴(kuò)大了中國市場?！?

圖：ASM INTERNATIONAL Epi系列設(shè)備

立式爐管是ASM INTERNATIONAL很早就開始涉及的領(lǐng)域，囊括了從6英寸到12英寸的所有需求，在最近三年開始有緩慢增長之勢。其中200mm（8英寸）晶圓機(jī)型的裝機(jī)量在過去兩年里增長尤為迅速。

近年來，隨著5G、物聯(lián)網(wǎng)、人工智能、自動(dòng)駕駛等技術(shù)的迅速發(fā)展，全球數(shù)字化進(jìn)程加速，電子產(chǎn)品需求增加，進(jìn)而推動(dòng)了半導(dǎo)體市場成長。2020年全球爆發(fā)的新冠疫情加速了遠(yuǎn)程辦公的普及速度，手機(jī)攝像頭、電源芯片、指紋識別等產(chǎn)品需求大幅攀升，這些產(chǎn)品在8英寸晶圓上更具優(yōu)勢。因此8英寸晶圓產(chǎn)品線供需態(tài)勢扭轉(zhuǎn)，開始出現(xiàn)產(chǎn)能緊缺的情況。

在供給有限的情況下，市場對8英寸晶圓需求旺盛，因此對制造晶圓的設(shè)備需求也日益增長，從而讓整個(gè)半導(dǎo)體市場開始重新審視8英寸晶圓線的投資與價(jià)值。雖然主流工藝走到了12寸，但既然市場對8英寸的需求有增無減，那么設(shè)備廠商是否一定要堅(jiān)守12英寸市場，而無視8英寸市場的巨大需求呢？

ASM INTERNATIONAL適時(shí)推出了新型8英寸設(shè)備，自2018年A400首次投入市場之后，ASM INTERNATIONAL迅速打開了國內(nèi)市場，主要客戶包括功率器件和MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）廠商。本次ASM INTERNATIONAL在SEMICON 2021發(fā)布會上介紹的200mm新機(jī)型A400D，提供一系列全面的工藝應(yīng)用，包括低壓化學(xué)蒸汽沉積（LPCVD）工藝，如摻雜硅和氮化硅薄膜、擴(kuò)散過程（如濕氧化和退化工藝）。

圖：ASM INTERNATIONAL A400D 200mm晶圓設(shè)備

ASM INTERNATIONAL全球產(chǎn)品執(zhí)行副總裁Hichem M'Saad表示：“A400D設(shè)備可以確保ASM INTERNATIONAL擴(kuò)大其在電力、模擬、RF和MEMS應(yīng)用市場領(lǐng)導(dǎo)者的地位。隨著200mm制造開始復(fù)興，在IoT設(shè)備等增長的推動(dòng)下，我們現(xiàn)有的立式爐管技術(shù)顯然仍能取得行業(yè)領(lǐng)先成果。將我們的技術(shù)與機(jī)器人和控制方面的最新創(chuàng)新相結(jié)合，顯著增強(qiáng)了系統(tǒng)的制造能力，以實(shí)現(xiàn)當(dāng)今的生產(chǎn)目標(biāo)。”