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硅片級(jí)可靠性測(cè)試詳解
引言 硅片級(jí)可靠性（WLR）測(cè)試最早是為了實(shí)現(xiàn)內(nèi)建（BIR）可靠性而提出的一種測(cè)試手段。硅片級(jí)可靠性測(cè)試的最本質(zhì)的特征就是它的快速，因此，近年來(lái)它被越來(lái)越多得用于工藝開發(fā)階段。工藝工程師
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