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應(yīng)用材料將真空泵和除害裝置的運(yùn)行成本削減20％以上
美國(guó)應(yīng)用材料公司發(fā)布了能夠削減制造裝置附帶的真空泵及除害裝置等的能源消耗量，將運(yùn)行成本較原來削減20%以上的系統(tǒng)“Applied iSYS”。首先將面向該公司的CVD裝置提供，將來還計(jì)劃應(yīng)用于蝕刻裝置。Applie
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