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微機陀螺儀

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  • MEMS傳感器可以分成哪些應(yīng)用類型？

    MEMS傳感器是采用微電子和微機械加工技術(shù)制造出來的新型傳感器。它具有體積小、質(zhì)量輕、成本低、功耗低、可靠性高、技術(shù)附加值高，適于批量化生產(chǎn)、易于集成和實現(xiàn)智能化等特點。MEMS傳感器技術(shù)是指用微電子微機械加工出來的、用敏感元件如電容、