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據(jù)韓國(guó)媒體報(bào)道,韓美兩國(guó)聯(lián)合科研組成功開(kāi)發(fā)了將半導(dǎo)體電路堆疊,使半導(dǎo)體集成度得到提高的同時(shí),減少批量生產(chǎn)成本的三維集成電路(3D-IC)商用化技術(shù)。 

納米綜合Fab中心、美國(guó)風(fēng)險(xiǎn)企業(yè)BeSang和斯坦福納米Fab(SNF)11日下午在首爾洲際大酒店召開(kāi)記者會(huì)表示,通過(guò)三維單一芯片集成電路,開(kāi)發(fā)了可代替互補(bǔ)性氧化金屬半導(dǎo)體(CMOS)技術(shù)的3D-IC商用化技術(shù)。 

在平面硅板形成電路的二維半導(dǎo)體,因小型化所致的成本上升及技術(shù)問(wèn)題等,無(wú)法進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)小型化,因此半導(dǎo)體業(yè)界一直在研究三維半導(dǎo)體技術(shù)。 

但三維半導(dǎo)體制造技術(shù),需要高溫制造環(huán)境,且半導(dǎo)體層之間易出現(xiàn)缺陷,因此至今未能實(shí)現(xiàn)商用化。 

但韓美研究組以180納米技術(shù)和8英寸硅半導(dǎo)體晶片,在400攝氏度以下低溫環(huán)境形成了三維集成電路。 

研究組當(dāng)天公開(kāi)了利用新技術(shù)在180納米級(jí)8英寸硅晶片堆疊1.28億個(gè)立式半導(dǎo)體器件(兩層)的三位集成電路。 

納米綜合Fab中心表示:“3D-IC技術(shù)形成立式半導(dǎo)體電路,這不僅提高單位面積上的集成度,還進(jìn)行了堆疊,使集成度達(dá)到普通半導(dǎo)體的數(shù)十倍?!?nbsp;

該中心還表示:“此項(xiàng)技術(shù)將徹底改變截至目前的二維半導(dǎo)體集成電路生產(chǎn)體系,它不僅能夠顯著降低半導(dǎo)體生產(chǎn)成本,還將影響未來(lái)的幾代技術(shù)?!?nbsp;
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