FSI:繼續(xù)加強對亞太地區(qū)的本地化服務(wù)支持
作為一家全球領(lǐng)先的集成電路清洗設(shè)備、工藝技術(shù)及知識服務(wù)供應(yīng)商，F(xiàn)SI每年將20%以上的營業(yè)收入投入到新技術(shù)的研發(fā)中，公司通過其設(shè)在美國和日本的三個業(yè)界領(lǐng)先的研發(fā)中心，開發(fā)出了全新的清洗設(shè)備和工藝方案。目前FSI的清洗設(shè)備已經(jīng)全面覆蓋了批量浸泡、批量噴霧、單晶圓濕法和單晶圓超凝態(tài)過冷動力學(xué)等主流清洗方式；同時在90nm工藝技術(shù)節(jié)點上，其設(shè)備和工藝已經(jīng)能夠完成集成電路制造的100多個工藝步驟。
在許多集成電路制造商正在積極導(dǎo)入或者研發(fā)的65nm工藝節(jié)點上，F(xiàn)SI已經(jīng)成功地開發(fā)了ViPR（TM）全濕法光刻膠去除工藝，NiPt剝離工藝，用于Via、EtchStop、Probe等的全干法微粒去除、超低缺陷浸泡清洗技術(shù)和高選擇性氮化物去除等等工藝和技術(shù)。這些在65nm甚至更高技術(shù)節(jié)點上的創(chuàng)新，已經(jīng)引起了諸多領(lǐng)先的亞洲芯片制造商的高度興趣，F(xiàn)SI將在這些制造商為滿足這些生產(chǎn)目標(biāo)而進(jìn)行的產(chǎn)品和工藝開發(fā)中，通過擴(kuò)大FSI已經(jīng)頗具歷史的研究開發(fā)合作伙伴項目，為客戶找到各種應(yīng)對各種新工藝挑戰(zhàn)的全面解決方案。對于那些不斷創(chuàng)新的集成電路制造廠商，F(xiàn)SI已經(jīng)成為了其“知識”和“解決方案”供應(yīng)商，以及創(chuàng)新的合作伙伴。在其包括培訓(xùn)課程、技術(shù)出版物、聯(lián)合開發(fā)活動等等幫助客戶創(chuàng)新的手段中，“知識服務(wù)系列研討會(KnowledgeServices™Seminars，簡稱KSS）”已經(jīng)成為深受全球合作伙伴歡迎的行業(yè)技術(shù)活動之一。
“集成電路制造業(yè)從歐洲和美國轉(zhuǎn)移到亞洲已經(jīng)多年。顯然，新工藝技術(shù)的開發(fā)如今也隨之轉(zhuǎn)移到了本地區(qū)，F(xiàn)SI為此已作好了充分的準(zhǔn)備?！盕SI的產(chǎn)品管理與市場副總裁ScottBecker博士在4月17日的上海站研討會上說：“中國大陸的集成電路制造產(chǎn)業(yè)進(jìn)展神速，這樣的快速發(fā)展也給FSI在中國帶來了巨大的突破；同時許多制造商正在加緊對新工藝技術(shù)的研發(fā)和引入，我們將全面支持其創(chuàng)新活動，我們的策略是成為他們最佳的方案供應(yīng)商和研發(fā)合作伙伴?！?nbsp;
FSI在亞洲的突破可以很明顯地從銷售業(yè)績和不斷擴(kuò)大的合作伙伴關(guān)系中看出：2003年中來自亞洲的銷售額僅占全面銷售收入的11%，而這個比例到2006年則飆升到了31%；同時FSI在亞洲的技術(shù)研發(fā)合作伙伴活動包括三星帶高溫SMP技術(shù)的全濕法光刻膠去除工藝項目，海力士光刻膠去除數(shù)位線接觸電阻變量研究項目，特許半導(dǎo)體90nm及更高技術(shù)節(jié)點FSIANTARES®超凝態(tài)過冷動力學(xué)清洗應(yīng)用項目，以及中芯國際在多晶圓噴霧式處理工藝在自對準(zhǔn)多晶硅化物(salicide)結(jié)構(gòu)上可選擇性鎳刻蝕中應(yīng)用項目等等。
亞洲的半導(dǎo)體制造業(yè)還將繼續(xù)快速發(fā)展，據(jù)SEMISMG預(yù)計，到2009年亞太區(qū)的半導(dǎo)體制造份額將占全球近一半的份額。今天，諸如恩智浦半導(dǎo)體（NXPBV）和德州儀器（TI）等多家跨國半導(dǎo)體公司為了與本地的晶圓制造商更加緊密地合作，已開始了本地化的工藝開發(fā)，F(xiàn)SI在亞洲的研發(fā)伙伴計劃將進(jìn)一步擴(kuò)大。
“與IC制造商的合作戰(zhàn)略是我們開發(fā)新產(chǎn)品和新工藝的最有效的途徑之一，這樣能夠很好地幫助我們的客戶實現(xiàn)他們的生產(chǎn)目標(biāo)?！盕SI公司董事長兼首席執(zhí)行官DonMitchell說：“由于FSI長久而豐富的合作計劃，客戶越來越多地指望通過我們來幫助尋找應(yīng)對難題的解決辦法。我們與客戶一起將研發(fā)計劃應(yīng)用到制造的實踐中，取得了對客戶和產(chǎn)業(yè)界皆有利的工藝進(jìn)步。”
FSI在亞洲的合作伙伴項目所取得的成就正在推動行業(yè)發(fā)展。利用知識服務(wù)系列研討會這一平臺，F(xiàn)SI在將美國的研發(fā)成果介紹給亞洲客戶的同時，F(xiàn)SI與三星、Hynix、特許半導(dǎo)體（chartered）及中芯國際(SMIC)等客戶的聯(lián)合開發(fā)項目成為了同行們新的興趣點，這些合作伙伴在研討會上與參與者分享了合作成果，因而該研討會已成為了亞洲集成電路制造行業(yè)中的一個重要活動。
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