原來(lái)通過(guò)電解電鍍形成凸點(diǎn)的方法需要一道抗蝕工序,即使使用折舊費(fèi)已經(jīng)計(jì)算完的生產(chǎn)線,每個(gè)晶圓的凸點(diǎn)形成成本也高達(dá)一萬(wàn)數(shù)千日元。利用京瓷開(kāi)發(fā)的無(wú)電解電鍍技術(shù)和高精度絲網(wǎng)印刷技術(shù)則無(wú)需抗蝕工序,即使引進(jìn)新設(shè)備,每個(gè)晶圓的凸點(diǎn)形成成本也可控制在8000~1萬(wàn)日元。
原來(lái)的無(wú)電解電鍍存在著無(wú)法支持各種焊盤電極材料的問(wèn)題,京瓷則通過(guò)改進(jìn)電鍍液解決了這一問(wèn)題。絲網(wǎng)印刷方面,原來(lái)的位置對(duì)準(zhǔn)精度低、凸點(diǎn)間距難以縮減,而此次則通過(guò)改進(jìn)印刷頭形成了120μm間距的凸點(diǎn)。
無(wú)電解電鍍和絲網(wǎng)印刷技術(shù)的結(jié)合此前就被提出過(guò),但由于技術(shù)難度大,大多數(shù)廠商放棄了開(kāi)發(fā)。京瓷解決了技術(shù)難題,將其應(yīng)用于該公司的熱轉(zhuǎn)印打印頭制造過(guò)程中的驅(qū)動(dòng)IC倒裝芯片封裝。已連續(xù)5年以1000枚/月(按150mm晶圓計(jì)算)的規(guī)模形成晶圓凸點(diǎn)。
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