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[導讀]美國知名半導體代工企業(yè)GLOBALFOUNDRIES公司2011年1月25日在東京召開了記者招待會,該公司首席執(zhí)行官(CEO)Douglas Grose公布了28~20nm工藝的量產(chǎn)和產(chǎn)能擴大計劃。28nm工藝方面,預定2011年4~6月進行首批顧客的送

美國知名半導體代工企業(yè)GLOBALFOUNDRIES公司2011年1月25日在東京召開了記者招待會,該公司首席執(zhí)行官(CEO)Douglas Grose公布了28~20nm工藝的量產(chǎn)和產(chǎn)能擴大計劃。28nm工藝方面,預定2011年4~6月進行首批顧客的送廠生產(chǎn)(Tape-out,接受設計數(shù)據(jù))。28nm工藝的下一個全代工藝(Full-node)設定為20nm工藝,將于2012年下半年開始進行少量量產(chǎn)。關于2011年的設備投資,將投入相當于2010年兩倍的54億美元,用于擴大德國和美國生產(chǎn)基地的產(chǎn)能。該公司計劃在今后兩年內(nèi),將總產(chǎn)能提高到原來的2倍。

GLOBALFOUNDRIES公司2010年1月與新加坡特許半導體公司(Chartered Semiconductor Manufacturing)進行了業(yè)務整合,之后用一年的時間“成為了能為顧客提供全方位(Full-range)服務的國際型企業(yè)”(Grose)。最近,該公司正穩(wěn)步提高其在代工業(yè)界的地位,比如,宣布產(chǎn)能擴張計劃,爭取到了瑞薩電子成為其最先進工藝的客戶等。目前還在與東芝進行生產(chǎn)委托相關交涉。今后將在以微細化為核心的技術開發(fā)和產(chǎn)能兩方面,與業(yè)界第一的臺灣臺積電公司(Taiwan Semiconductor Manufacturing,TSMC)展開正面競爭。

微細化方面,前不久GLOBALFOUNDRIES公司宣布已經(jīng)對28nm工藝的設計流程進行了完善。該工藝采用了在晶體管制造工序中先制造金屬柵極(Metal-gate)的先柵極(Gate-first)方式高介電率(High-k)絕緣膜/金屬柵極。與TSMC等采用的后柵極(Gate-last)方式相比,能夠使28nm工藝的芯片面積縮小10~20%。

28nm工藝可提供SLP(低功耗)版,HP(高速)版,HPP(超高速)版等3種工藝。將與在CMOS工藝開發(fā)方面進行合作的“Common Platform Alliance”成員企業(yè)(美國IBM公司、韓國三星電子公司、意法半導體公司)同時,從2011年起開始進行量產(chǎn)。

GLOBALFOUNDRIES公司面向比28nm率先實現(xiàn)的32nm工藝,開始進行high-k柵極絕緣膜/金屬柵極技術的應用。目前已經(jīng)在為美國AMD公司(Advanced Micro Devices)生產(chǎn)的微型傳感器制造中導入了該技術,已經(jīng)供貨數(shù)萬個樣品芯片。

在28nm工藝之后,GLOBALFOUNDRIES計劃“跳過22nm工藝直接過渡到20nm工藝領域”(Grose)。這一戰(zhàn)略與TSMC相同。20nm工藝方面,目前正在與初期顧客進行合作,2011年下半年將開始提供少量芯片試制服務(Shuttle Service)。計劃從2012年下半年起開始進行少量量產(chǎn)。該工藝將新采用后柵極方式的high-k柵極絕緣膜/金屬柵極。改變28nm工藝的前柵極方式的理由在于“我們認為顧客希望在20nm工藝中采用后柵極方式”(Grose)。該工藝中也準備了SLP版和HP版等多個工藝。

作為微細化核心的光刻(lithography)技術方面,GLOBALFOUNDRIES在EUV(超紫外線)曝光的導入上表現(xiàn)出了積極的姿態(tài)。打算“成為EUV曝光量產(chǎn)裝置的首批用戶之一”(Grose)。計劃2012年下半年向美國生產(chǎn)基地“Fab8”導入EUV曝光量產(chǎn)裝置,2014年下半年~2015年開始進行元件量產(chǎn)。早期的量產(chǎn)將不導入元件試制裝置(pre-production tool),而是從一開始就導入量產(chǎn)裝置。另外,從2012年下半年開始量產(chǎn)的20nm工藝通過液浸曝光的雙重圖形技術(Double Patterning)進行支持。預計EUV曝光將應用于16~15nm以下工藝。

產(chǎn)能擴大方面,將像以前宣布的一樣,以德國“Fab1”產(chǎn)能達到8萬片/月、美國Fab8達到6萬片/月為目標,繼續(xù)推進300mm生產(chǎn)線的增產(chǎn)。此外還將提高200mm生產(chǎn)線的產(chǎn)能。200mm生產(chǎn)線方面,今后計劃致力于加速度傳感器和RF元件等MEMS元件的受托生產(chǎn)。另外,還計劃在2011年以后開始提供包括TSV(硅通孔技術)在內(nèi)的三維安裝技術。(記者:大下 淳一)

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