MEMS陀螺儀(Gyroscope)又名角速度計，為角慣性感測器，用于感測圍繞某個軸發(fā)生的旋轉，測量以度/秒為單位的角速度，不同于傳統(tǒng)的陀螺儀用于測量角位移，角速度測量能夠間接測量出角位移和速度。
陀螺儀與加速計不同的是，陀螺儀測量偏航或者斜度，與重力或線性動作無關。陀螺儀是偵測物體水平改變的狀態(tài)，但無法計算物體移動的激烈程度，加速度計只能偵測物體的移動行為，但無法偵測物體角度改變的能力，如將陀螺儀和加速計結合起來，就能夠感測轉動與線性運動的感測器。
陀螺儀解決方案是透過一個不斷旋轉的陀螺，當感測器晃動時，同時改變陀螺的水平，并改變周遭的電壓，而計算出物體移動的角度。
陀螺儀的MEMS內 部設計，核心元件是一個經過微加工之機械元件，利用科里奧利力(Coriolis)原理把角速率轉換成特定感應結構直向位移，進而取得變化量資訊。其工作 原理是由相互正交的振動和轉動引起的交變科里奧利力，振動物體被柔軟的彈性結構懸掛在基底之上。整體動力學系統(tǒng)是二維彈性阻尼系統(tǒng)，在這個系統(tǒng)中振動和轉 動誘導的科里奧利力把正比于角速度的能量轉移到傳感模式。
MEMS陀螺儀廣泛用于各種消費性設備，如數(shù)位相機的影像防震、筆記型電腦的硬碟保護、3D遙控器和數(shù)位羅盤等，還用在汽車的電子穩(wěn)定控制(ESC)系統(tǒng)中，甚至自動控制系統(tǒng)控制機器人手腳的行動和平衡。
任天堂在2009年新推出Wii控制器搖桿“Wii Motion Plus”，增加了MEMS陀螺儀設計，透過它偵測全方位3D角速度變化，回傳游戲主機藉此判定使用者運動狀態(tài)，帶動2009年游戲機用陀螺儀銷售額成長近3倍達9400萬美元。
iPhone 4為全球第一支內建MEMS陀螺儀的手機，iSuppli指出，2010年采用陀螺儀的手機僅有5款，能針對智慧型手機供應陀螺儀的廠商包含意法半導體(STMicroelectronics)、 Invensense與Analog Devices等。
MEMS相關產品設計、開發(fā)皆掌握在歐美大廠手中，如意法半導體(ST)、Bosch、飛思卡爾與Invensense等，臺灣相關供應鏈僅有晶圓代工廠臺積電、聯(lián)電與封測廠商菱生、日月光、矽品與矽格等
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