沈陽罕王集團是中國東北的大型民營鐵礦生產(chǎn)集團，該公司已開始為微機電系統(tǒng)(MEMS)興建一家大型晶圓廠。
罕王集團打算生產(chǎn)慣性傳感器和硅膜麥克風，這兩種產(chǎn)品在中國都有旺盛的需求。該公司也在討論生產(chǎn)胎壓傳感器和用于醫(yī)療應用的微流體MEMS。中國目前生產(chǎn)的大量電子設備所使用的MEMS器件，幾乎全部需要進口。由于沒有關(guān)稅和勞動力成本較低，罕王MEMS器件的成本將低于進口產(chǎn)品，因此應該能夠在中國系統(tǒng)生產(chǎn)商中找到買家。

為了實現(xiàn)上述目標，罕王集團成立了合資子公司Hanking Electronics Co. Ltd.，并聘請MEMS產(chǎn)業(yè)資深人士Doug Sparks擔任執(zhí)行副總裁幫助實施相關(guān)計劃。Sparks向總裁兼首席執(zhí)行官Lucy Huang報告。



晶圓廠2012年3月動工興建，位于沈陽以東40英里左右的撫順。Sparks表示，工廠將坐落在罕王MEMS工業(yè)園(HMIP)之中，道路已經(jīng)在2011年平整完畢。工業(yè)園位于撫順經(jīng)濟開發(fā)區(qū)，占地約160英畝。

罕王計劃投資30億元人民幣(約4.75億美元)，分三個階段進行開發(fā)。Sparks表示，盡管初期準備安裝200毫米晶圓生產(chǎn)設備，但廠房是為滿足“300毫米晶圓生產(chǎn)”建造的。他預測，將在幾年內(nèi)向生產(chǎn)300毫米MEMS晶圓過渡，目前MEMS領域還沒有一家廠商能夠生產(chǎn)300毫米晶圓。

Sparks表示，MEMS晶圓廠在第一階段，將能夠在2014年每月生產(chǎn)大約4000個200毫米初制晶圓。他說，“我們將在2013年以前擁有后端處理制程，比如電鍍與蝕刻，再過一年可能就會擁有一切制程?！?br>
但Sparks并不十分擔心進度拖延。他說，罕王進入MEMS領域是一項長期計劃，而且資金充足。中國罕王控股有限公司是罕王集團的附屬企業(yè)之一，2011年9月在香港上市，2011年凈利潤為6.706億元人民幣，營業(yè)收入為14.5億元人民幣(約合2.3億美元)。Sparks表示，整個集團的年營業(yè)收入約為5.5億美元。


先代工，再采取IDM模式，同時引進MUMPS？

Sparks表示，罕王希望最終成為MEMS IDM廠商，生產(chǎn)自有品牌的元件，不過屆時可能有70%的自有品牌業(yè)務和30%的代工業(yè)務。但是，在實現(xiàn)那一步之前，罕王最初可能需要向主要MEMS廠商提供代工服務。

Sparks表示，他一直在考慮與MEMS IDM廠商和代工廠商合作。如果能夠成為一家MEMS廠商的中國代工者，罕王就可以安裝“一模一樣”的設備，在為其生產(chǎn)產(chǎn)品的同時，也可以學到MEMS技術(shù)。Sparks表示，“我們一直在與幾家潛在的戰(zhàn)略伙伴談判，”但他拒絕透露具體的公司名稱。

Sparks表示，他也在與MEMS代工廠商Memscap SA (法國Bernin)接觸，準備把MUMPS系統(tǒng)引入中國。MUMPS是標準化制程模組系統(tǒng)，可以讓不同的客戶共享晶圓面積，類似于CMOS中的多項目晶圓(MPW)方式。

MUMPS代表Multi-User MEMS Processes(多用戶MEMS工藝)，最初是1980年代在美國加州大學伯克利分校開發(fā)的一個項目，后來轉(zhuǎn)到了美國北卡羅菜納微電子中心 (MCNC)，并成為向研究人員提供MEMS流片服務的一個手段。該服務后來轉(zhuǎn)讓給了Cronos Integrated Microsystems Inc.，包括在北卡羅來納州三角研究園的一個晶圓廠。后來于2003年被Memscap收購。Memscap利用該設施向客戶提供MEMS流片服務，然后投入批量生產(chǎn)。

Sparks表示，如果能夠使用這樣的低成本系統(tǒng)，中國許多小型公司可能對MEMS感興趣。罕王在美國克利夫蘭也設有辦事處。他說，“我們已開始在那里進行一些設計工作，以啟動這個項目?！?br>
Sparks還補充道，Hanking Electronics也考慮在無線傳感器網(wǎng)絡領域，并打算給中國的一些相關(guān)電子產(chǎn)品貼牌銷售，以此擴大其銷售與市場基礎。

罕王并不是在中國建立MEMS工廠的第一家公司。1999年從模擬器件公司分拆出來的美國Memsic Inc.，在無錫建立了一家后端工廠，使用加工過的臺積電CMOS晶圓。

2011年10月接受Hanking Electronics的現(xiàn)有職務之前，Sparks曾在美國MEMS公司Integrated Sensing Systems Inc.工作過10年，再早在Delco從事汽車MEMS工作17年。Delco已更名為Delphi。

Sparks在Delphi期間，聘用了一名來自美國凱斯西儲大學(Case Western Reserve University)的中國碩士畢業(yè)生Lucy Huang，即Hanking Electronics的現(xiàn)任總裁兼首席執(zhí)行官。