本屆“MEMS 2013”上，有3項(xiàng)關(guān)于三維高腳杯型振蕩器的發(fā)布（論文編號(hào)：8-2，8-4，105-Mo）。據(jù)筆者的美國(guó)朋友介紹，美國(guó)國(guó)防部高級(jí)研究計(jì)劃局 （DARPA）啟動(dòng)了半球諧振陀螺儀（Hemispherical Resonator Gyro，HRG）的超小型化項(xiàng)目（MRIG program），有10多所大學(xué)及研究機(jī)構(gòu)入選該項(xiàng)目，此次的3項(xiàng)發(fā)布只是其中的一部分。采用的三維酒杯具有與真酒杯一樣的形狀，因支撐處只有一點(diǎn)，所 以振蕩損失少，也就是說(shuō)Q值高，而且其振蕩模式不易受到外部加速度及振動(dòng)的影響。

       為制成高腳杯的形狀，先在硅基板上蝕刻半球狀的孔，在此處成膜并脫模，并采用以吹玻璃的要領(lǐng)使石英小膨脹成小球狀的方法。

       如果高腳杯的形狀完全對(duì)稱，其振蕩模式就會(huì)退化成頻率響應(yīng)只有一個(gè)峰值的情形，若對(duì)稱性被打破，峰值就會(huì)分裂，這對(duì)HRG而言，是不希望出 現(xiàn)的情況。在硅基板上加工半球狀的方法，關(guān)鍵在于如何能夠蝕刻出接近正圓球的形狀。對(duì)此，離開(kāi)名古屋大學(xué)后進(jìn)入愛(ài)知工業(yè)大學(xué)的佐藤教授，想到了利用自己在 日立制作所工作時(shí)為加工超聲波顯微鏡的硅聲透鏡（半球狀孔）而開(kāi)發(fā)的濕蝕刻技術(shù)（《精密工學(xué)會(huì)志》Vol.59,1(1993)）。（特約撰稿人：田中秀 治，日本東北大學(xué)）

支撐部為一點(diǎn)的高腳杯構(gòu)造振蕩器（論文編號(hào)：8-2，照片由美國(guó)佐治亞理工學(xué)院提供）