[導(dǎo)讀]瑞士Eulitha AG強(qiáng)調(diào)“用EUV（extreme ultraviolet）光刻技術(shù)制造”的納米壓印用模具，在“nano tech 2010（國際納米科技綜合展，2月17～19日）”上展出。在2mm×0.5mm的轉(zhuǎn)印區(qū)內(nèi)形成了最小17nm的網(wǎng)點、最小半間距（h
瑞士Eulitha AG強(qiáng)調(diào)“用EUV（extreme ultraviolet）光刻技術(shù)制造”的納米壓印用模具，在“nano tech 2010（國際納米科技綜合展，2月17～19日）”上展出。在2mm×0.5mm的轉(zhuǎn)印區(qū)內(nèi)形成了最小17nm的網(wǎng)點、最小半間距（hp）35nm的線寬和線間距。
該公司稱采用了EUV光刻技術(shù)，但細(xì)問之下，方知采用的是以同步加速器（同步式圓形加速器）生成的軟X射線的光刻技術(shù)。曝光使用的波長為13.5nm，波長確與EUV相同。使用了瑞士政府設(shè)置在蘇黎世郊外的同步加速器設(shè)備。
這一技術(shù)比電子束光刻可降低加工成本，該公司以1600美元的價格提供配置有4處形成hp 35nm圖案的2mm×0.5mm轉(zhuǎn)印區(qū)的標(biāo)準(zhǔn)模具。據(jù)稱，如果使用電子束光刻設(shè)備制造，其價格將為10倍以上。（記者：加藤 伸一）
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為了遏制中國的發(fā)展，美國近年來對華采取一系列的干預(yù)和打壓措施已經(jīng)屢見不鮮，在高新科技領(lǐng)域的技術(shù)封鎖/貿(mào)易封鎖更是美國的慣用伎倆，半導(dǎo)體就是這樣的一個領(lǐng)域。據(jù)近日報道，美國為了全面遏制中國的半導(dǎo)體業(yè)發(fā)展，已經(jīng)向荷蘭政府施壓...
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（全球TMT2022年6月21日訊）亞馬遜云科技推出Amazon Redshift流式注入（Streaming Ingestion）功能預(yù)覽，讓客戶能夠直接從Amazon Kinesis Data Streams（一項...
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NEC
PC
HP
仿真
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據(jù)悉，李在镕的荷蘭商務(wù)旅行將從6月7日開始，一直持續(xù)到6月18日。
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半導(dǎo)體
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