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常數(shù)

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低介電常數(shù)材料在超大規(guī)模集成電路工藝中的應用

趙智彪，許志，利定東（應用材料中國公司，上海浦東張江高科技園區(qū)張江路368號，201203）摘要：本文概述了低介電常數(shù)材料（Low k Materials）的特點、分類及其在集成電路工藝中的應用。指出了應用低介電常數(shù)材料的必

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