通過對國產運算放大器的一項失效分析研究,揭示了由于工藝變更引起的疊層 MIS電容短路是導致器件失效的主要原因。在低電場條件下,電容表現正常,但在高電場條件下,由于 Fowler-Nordheim 隧穿效應,熱電子碰撞引發(fā)的缺陷積累最終導致了電容的短路失效。通過 Sentaurus TCAD 仿真分析,驗證了界面摻雜原子濃度差異對氧化層生長速率的影響,并提出了相應的工藝改進建議,進而提升國產芯片的可靠性。
我們在做FMEA的時候一定要把FMEA當作一個主動預防的工具,在有新設計、新應用、工程變更等情況時就要開始做FMEA了。另外想要做好FMEA,就要建立FMEA團隊,只有團隊協同,FMEA才能順利進行。
我們通常所說的電感指的是電感器件,它是用絕緣導線(例如漆包線,沙包線等)繞制而成的電磁感應元件。