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化學(xué)氣相沉積的使用
化學(xué)氣相沉積裝置最主要的元件就是反應(yīng)器。
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化學(xué)氣相沉積的原理及特點(diǎn)
化學(xué)氣相沉積是一種化工技術(shù)，該技術(shù)主要是利用含有薄膜元素的一種或幾種氣相化合物或單質(zhì)、在襯底表面上進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)生成薄膜的方法?；瘜W(xué)氣相淀積是近幾十年發(fā)展起來的制備無機(jī)材料的新技術(shù)。
